$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

기류방출형 연X선 조사에 의한 정전기 제거 장치에 관한 연구
A Study on the Removal of Electrostatic using Transmitted Ions Generated Soft X-ray with Compressed Air 원문보기

한국안전학회지 = Journal of the Korean Society of Safety, v.25 no.1, 2010년, pp.27 - 31  

귄승열 (부경대학교 안전공학과) ,  이동훈 (부경대학교 안전공학부) ,  최재욱 (부경대학교 안전공학부) ,  서민석 (부경대학교 안전공학과)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

It is a well known fact that the LCD and Semiconductor Devices are a central part of IT industry which is important in the present and the future. But the biggest problem of Semiconductor and LCD manufacturing is maintaining a cleaning room environment. For this reason, the soft X-ray type Ionizer w...

주제어

#LCD and semiconductor   #soft X-ray ionizer   #electrostatic reducer   #ion emission  

AI 본문요약
AI-Helper 아이콘 AI-Helper

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 연X선원으로 부터 생성된 이온을 외부에서 공급된 압축공기를 이용하여 구형 노즐을 통하여 대전물체에 보내도록 하는 구조로 된 기류방출형 연X선조사식 정전기제거장치를 설계 및 제작하였다. 그리고 제작된 장치의 정전기 제거성능을 평가하여 액정판넬 및 반도체 제조공정에 적용하는데 목적이 있다. 이렇게 함으로서 연 X선을 이용한 정전기제거장치의 단점인 방사선의 외부 노출로 인한 인체 장해를 본질적으로 예방할 수 있다.
  • 본 연구에서 연X선원을 차폐하기 위하여 스테인레스 스틸(두께: 2mm)을 사용하는 구조의 연X선 조사식 정전기제거장치를 제시하였다. 그 결과 방사선 누설에 대한 위험성이 가장 크다고 생각 되었던 이온방출구, 접속부 및 전선인입부에서의 누설방사선량을 측정한 결과 0.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?

참고문헌 (13)

  1. T. Adachi, M Kawasaki, H. Nakabayashi, "The Behavior of Dust Particle in Electrostatic Precipitators", 日本靜電氣學會誌, Vol. 4, No. 3, pp. 152-159, 1980. 

  2. Soichiro Sakada, Hitoshi Inaba, Takanori Yoshida, "Contamination-Free Ionizer for Super Clean Rooms", Proc. 3rd Int. Aerosol Conference Japan, pp. 817-820, 1990. 

  3. 藤井修二, 謝國平, 金光映,"第7回空氣淸淨 とコ ンタミネ？ションコントロ？ル硏究大會予稿集", pp. 17, 1998. 

  4. 阪田總一朗, 岡田孝夫, "第7回空氣淸淨とコンタミ ネ？ションコントロ？ル硏究大？予稿集", pp. 21, 1998. 

  5. 江見 準, "88ク リ？ンテクノロジ？シンポジウム 予稿集", pp. 3-11, 1988. 

  6. 鈴木政典,山路幸郞, "空氣淸淨", pp. 48, 1989. 

  7. 鈴木政典, 和泉貴晴, ？, 治幸, 石川昌義, "ク リ？ ンテクノロジ？", pp. 18, 1992. 

  8. Toshio Murakami, Haruyuki Togari, Arnold Steinman, "Electrostatic Problems in TFT-LCD Production and Solutions using Ionization", EOS/ESD Symposium, pp. 365-370, 1996. 

  9. 정용철, "코로나 방전형 정전기 제거장치에서의 이온생성 최적화 조건에 관한 연구", 부경대학교 대학원, 박사학위논문, 2008. 

  10. 류상민, "軟X線 除電器의 開發 및 除電特性에 관한 硏究", 부경대학교 대학원, 석사학위논문, 1999. 

  11. Y. Kawase, H. Mishina, T. Asakura, "Velocity Measurements of Small Dust Particles in High Electric Field Using Laser Doppler Velocimeter", 電氣學會誌, Vol. 2, No. 3, pp, 199-206, 1978. 

  12. 원자력법 시행혈 제2조 5호 [별표1]. 

  13. 鈴木政典, "ク リ？ンテクノロジ？", pp. 31, 1992. 

저자의 다른 논문 :

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로