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NTIS 바로가기電子工學會論文誌. Journal of the institute of electronics engineers of Korea. IE. 산업전자, v.46 no.3, 2009년, pp.26 - 32
이종호 (인하공업전문대학 디지털전자과) , 전성호 ((주)테크라인)
The reason of the contamination in the VLSI industry is the electric charge of the wafer itself. We develop the corona discharged system of clearing static electricity with a fan. This system has automatic cleaner of discharging electrode, check the state of jot control a suitable mount of discharge...
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이원석, 이상회, 이종호, 이세훈, 구자일, 'USN 실무', 복두출판사, 2009
김정태, '고전압이론과 응용', 교우사, 2001
김두현외, '정전기 안전', 동화기술, 2001
二澤 正行, 'Guide for ESD control management 工業調査會, 2004
'KS C IEC 61340-5-1, 5-2 해설집' 산업 자원부 기술표준원, 2006
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