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• 연구 방법
• 연구 결과

제안 방법

• 그림 7. 분자층 증착기술을 이용한 PPTA 제조.
• 본 연구팀에서는 기상에서 단분자층 및 단 원자층 수준에서 조절하며 유기-무기 복합 박막 제조가 가능한 새로운 분자층 증착기술을 개발하였다 [9, 10], 기상에서 C=C 작용기를 가지고 있는 자기조립 단분자막과 금속산화막의 연속적 인 흡착 및 오존 활성화 과정을 통해 자기조립 다층분자막 및 유기-무기 복합초격자막을 형 성하였다. 이 기술을 이용하여 두께를 정확히 조절하며 대면적 기판에 매우 균일한 막을 형성하였다.

대상 데이터

• 0 A/cycle)을 보이 며, TMA/EG 주기 에 따라 두께가 비 례하여 증가하는 특성을 나타내었다. 또한, 아연과 알코올로 구성 된 유기-무기 복합체는 Diethyl Zinc 와 EG 를 이용하여 제조하였다. 이러한 기술들은 무기물의 금속 전구체와 유기 전구체들을 이용하여 다양한 형태의 유기-무기 복합박막을 성장 시킬 수 있음을 보여주었다.

이론/모형

• 그림 2. 정전기적 자기조립법을 이용한 다층 분자 막의 제조.
• 그림 2. 정전기적 자기조립법을 이용한 다층 분자 막의 제조.
• 그림 3. Langmuir-Blodgett법을 이용한 다층 분자 막의 제조.

성능/효과

• 가능한 기상증착법이다 [5]. 이 기술은 원자단위의 ALD 기술을 분자단위로 확장한 방법으로 기상에서 빠른 속도로 고품질의 유기분자박막을 제조할 수 있을 뿐만 아니라 기존의 ALD 기술과도 유사하여 상호간의 장비의 호환이 가능하다. 1991년에 일본의 몇몇 그룹에서는 Polyamide, Polyimide, Polyurea, Polyurethane 등의 유기 고분자들의 분자층 증착기술을 연구하였다.
• 증착기술이 결합된 새로운 분자층 증착기술이개발되었다. 이 기술을 이용하면 기존의 ALD 장치에서 동시에 유기분자박막 증착할 수 있어 고품질의 유기 분자박막뿐 아니라 다양한 종류의 무기 박막을 단원자층 수준으로 조절하며 제조가 가능하여 이상적인 고품질의 유기-무기 복합 박막을 제조할 수 있다. 이 기술은 무기 전구체와 다기성 유기 전구체의 순차적 표면반응에 의해 복합박막을 형성하며, 형성된 복합박막은 화학결합으로 강하게 결합되어 하나의 특성을 나타내는 단일 구조의 형태를 가진다.
• 또한, 형성된 복합 박막은 좋은 열적 . 기계적 안전성, 유연성 및 우수한 절연특성을 보였으며' 유기 박막 트랜지스터 및 메모리에 적용하여 우수한 소자 특성이 나타남을 보였다.

후속연구

• 두 가지 종류 이상의 성분이 화학결합 초격자체를 이루는 나노복합 초 격자 박막은 각 성분층의 두께가 물질의 특성을 결정하는 특성길이 보다 작아 아주 특이한 성질을 기대되는 완전히 새로운 형태의 신소재이다. 따라서 유기-무기 복합 박막은 재료의 특성에 필요한 기능성을 가지는 동시에 기능기의 위치, 화학적 조성 및 구조를 원자 또는 분자 수준에서 조절하여 전자, 정보통신, 바이오, 에너지, 환경 등 여러 분야에 응용이 가능할 것으로 예상된다.

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