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NTIS 바로가기한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.27 no.6, 2010년, pp.32 - 38
Laser material processing technology is adopted in several industry as alternative process which could overcome weakness and problems of present adopted process, especially semiconductor and display industry. In semiconductor industry, laser photo lithography is doing at front-end level, and cutting...
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SIA, www.sia-online.org
DisplaySearch, www.displaysearch.com
"Semiconductor Manufacturing Process," AUK, www.auk.co.kr
Kim, S. T., Yang, D. S., Park, H. W. and Kim, T. H., "Technology in semiconductor industry and technology trend of photoresist," Polymer Science and Technology, Vol. 16, No. 1, pp. 4-19, 2005.
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Herbst, L., Simon, F., Rebhan, U., Osmanow, R. and Fechner, B., "New Technology for Creation of LTPS with Excimer Laser Annealing," Proc. of Asia Display/IMID, Paper No. 17-4, 2004.
Kim, H. J. and Kang, M. K., "Poly-Si(LTPS) TFT-LCD," Samsung Electronics, 2005.
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