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문제 정의
- 이용되고 있다. 그러나 더욱 대형화되고 있는 공정에의 적용으로 인해 이러한 중첩 형태의 연결 메커니즘은 계즉(kinematic metrology)시 오차 보정에 큰 제약이 되고 있으며 따라서 10'7 이상의 상대 불확도(relative uncertainty)를 요하는 공정의 경우 전세계적으로 특정 소수 업체에 의존하는 경향이 더욱 심화되고 있다" 본 논문에서는 그 대책의 일환으로 영구자석형 모터 대신 선형 유도 모터(이하 LIM; Linear Induction Motor)를 채택한 공기 베어링 스테이지의 기초 연구결과를 소개한다. 이러한 시스템의 경우 동일 평면상에서 모든 구동력이 발생되어 연결 구조가 필요없으며 스테이지 하부 프레임의 경우 전도성 시트(sheet)를 적층해서 구성하면 BLDC 시스템에서 일반적으로 나타나는 운동 방향으로의 주기적인 힘의 리플이 전혀 발생하지 않는다.
- 본 논문에서는 느린 동특성과 제어의 어려움 등 여러 이유로 인해 거의 시도되지 않았던 특히대면적 스테이지의 구동 방식으로는 적합하지 않은 것으로 알려져 왔던 7,8 lim 을 구동 원리로 채택한 공기 베어링 스테이지에 관한 연구 결과 소개를 통해 한계 인자에 대한 논의와 동시에 그 가능성을 모색해 본다.
- 본 논문은 기존 스테이지의 구동 방식을 유도기로 대체하여 구현해 봄으로써 전기동역학적 구동 원리의 가능성 타진과 함께 다양하게 존재하는 제한 요소들을 확인해 보는데 그 의의가 있다. 초기 시작품으로 제작된 시스템은 길이 방향으로 750 mm 의 구동 영역과 1 m/s 이상의 정속 구동 성능을 나타내는 것으로 확인되었으나 목표 제원으로 삼았던 1 g, 이상의 가속 능력에는 미흡한 것으로 보인다.
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