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NTIS 바로가기大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers. A. A, v.34 no.11=no.302, 2010년, pp.1631 - 1636
이정민 (조선대학교 기계설계공학과) , 김선호 (조선대학교 기계설계공학과) , 박정우 (조선대학교 기계설계공학과)
In this study, we demonstrate a nano-scale lithograph obtained on localized (100) silicon (p-type) surface using by modified AFM (Atomic force microscope) apparatuses and by adopting controlling methods. AFM-based experimental apparatuses are connected to a customized pulse generator that supplies e...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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나노 단위(nano-scale)의산화 구조물 패턴을 생성하는 리소그래피 방법은 어떤 방법인가? | 이러한 AFM 을 이용한 국부적 나노 산화 방식은초 미세 탐침을 이용하여 나노 단위(nano-scale)의산화 구조물 패턴을 생성하는 리소그래피 방법이다.(29~36) 이와 같은 나노 스케일의 산화 구조물 패턴을 형성하기 위한 양극유도산화 방식은 water bridge 를 생성할 수 있는 습한 환경에서 AFM 의 초미세 도전성 탐침(conducting tip)과 샘플 사이에 전압을 인가하여 전기장을 발생시켜 산화물을 패턴을 형성하는 전기 화학적 나노 가공 방법이다.(37) 지금까지 연구 결과에 의하면 10 V/m 를 인가하였을 때 발생되는 전기장은 GaAs,(37) silicon nitride,(33,38) silicon carbide,(39) 심지어 고온의 초 전도체 또한 국부적 산화물 패턴을 형성시킨다. | |
SPM이 발명된 이유는? | 현재 나노 가공 기술 중에 하나인 Scanning probe lithography(SPL)는 Scanning probe microscope(SPM) 을사용하는 리소그래피(lithography) 기술 중의 한가지 방법이다. 고체 표면을 원자 단위로 관찰하기 위하여 발명된 SPM 은 나노 과학 및 나노공학 연구의 필수적인 장치로써 초 미세 탐침(micro cantilever probe)의 기계적 움직임을 통하여 초 미세 탐침과 표면 사이에서 위치 함수의 상호관계를 이용해 이미지를 생성한다. | |
SPM이 이미지를 생성하는 과정은? | 현재 나노 가공 기술 중에 하나인 Scanning probe lithography(SPL)는 Scanning probe microscope(SPM) 을사용하는 리소그래피(lithography) 기술 중의 한가지 방법이다. 고체 표면을 원자 단위로 관찰하기 위하여 발명된 SPM 은 나노 과학 및 나노공학 연구의 필수적인 장치로써 초 미세 탐침(micro cantilever probe)의 기계적 움직임을 통하여 초 미세 탐침과 표면 사이에서 위치 함수의 상호관계를 이용해 이미지를 생성한다. |
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