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韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.20 no.6, 2011년, pp.387 - 394
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Standard devices and procedures for measuring the pumping speed, one of the most important parameters indicating the operation performance of the vacuum pump, have been developed and widely utilized. Though the standard system has a firm theoretical basis, it is, sometimes, inevitable to alter somet...
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| 핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
|---|---|---|
| 정확한 압력측정이란 무엇인가? | 유량을 정밀하게 측정하거나 조절할 수 있다는 전제하에서 남는 것은 결국 정확한 압력측정이다. 이것은 압력 측정기기의 정확도를 말하는 것이 아니라 필요한 특정위치 즉 흡기구에서 압력을 정확하게 알아야 한다는 뜻이다. 압력을 정밀하게 측정하는 방식은 확립되어 있지만 막상 어디서 측정하는 것이 옳은가 하는 것은 의외로 쉽지 않다 [1]. | |
| 진공 전문가들은 배기속도는 어떻게 측정하는가? | 배기 속도는 물리적으로 체적유량(volume flow rate, L/s, L/min 또는 m3/hr) 즉 단위시간당 펌프 흡기구에 들어오는 기체의 체적을 가리킨다. 펌프 흡기구 단면을 지나가는 체적을 직접 측정하는 것은 사실상 불가능하므로 진공 전문가들은 흡기구로 들어가는 기체 유량(flow rate, mba r・L/s 또는 Pa・m3/s)과 흡기구 압력(mbar 또는 Pa)을 측정한 후 유량을 압력으로 나누어 주는 방식으로 배기속도를 측정한다. 유량은 표면 기체 방출을 고려하더라도 실용적인 측면에서 보면 위치에 상관없이 불변하는 값으로 볼 수 있어서 유량을 어떻게 정밀하게 잴 것인가 하는 방법만 확보하고 있으면 편리한 위치에서 측정하면 된다. | |
| 배기 속도란? | 진공펌프의 성능을 나타내는 여러 파라미터가 있지만 가장 중요한 성능지표는 역시 배기속도라고 할 수 있다. 배기 속도는 물리적으로 체적유량(volume flow rate, L/s, L/min 또는 m3/hr) 즉 단위시간당 펌프 흡기구에 들어오는 기체의 체적을 가리킨다. 펌프 흡기구 단면을 지나가는 체적을 직접 측정하는 것은 사실상 불가능하므로 진공 전문가들은 흡기구로 들어가는 기체 유량(flow rate, mba r・L/s 또는 Pa・m3/s)과 흡기구 압력(mbar 또는 Pa)을 측정한 후 유량을 압력으로 나누어 주는 방식으로 배기속도를 측정한다. |
S. R. In, J. Korean Vaccum Soc. 4, 1 (1996).
Vacuum Technology-Standard Methods for Measuring Vacuum-pump Performance-General Description, ISO 21360 (2007).
배석희, 인상렬, 정광화, 신용현, 이영백, 진공공학, 한국경제신문사, 2장 (2000).
S. R. In, J. Korean Vaccum Soc. 9, 1 (2000).
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