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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)엘오티베큠 |
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연구책임자 | 이상윤 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-07 |
과제시작연도 | 2016 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201800040238 |
과제고유번호 | 1711041061 |
사업명 | 전자정보디바이스산업원천기술개발 |
DB 구축일자 | 2018-09-22 |
키워드 | 진공 펌프.드라이 펌프.부스터 펌프.동기 모터.상태진단. |
핵심기술
∘반도체, FPD 공정용 운전 신뢰성이 확보된 대용량 건식진공펌프의 제품화에 필요한 요소기술, 양산기술과 예지, 진단 활용 기반기술
최종목표
∘300 m3/h급 복합형상 저소비전력 Dry Pump (DP) 개발
∘3,000 m3/h급 반도체 공정용 고정밀 Booster Pump (BP) 개발/국산화
∘고효율 저소비전력 구동 모터 및 제어시스템 개발 및 적용
∘운전 신뢰성 향상을 위한 혁신 제품형 상태진단 기술개발 및 제품화
∘개발 제품(펌프
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