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NTIS 바로가기한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.28 no.1, 2011년, pp.19 - 23
이승훈 (한국기계연구원 부설 재료연구소) , 김도근 (한국기계연구원 부설 재료연구소) , 강재욱 (한국기계연구원 부설 재료연구소) , 김태곤 (연세대학교 기계공학부) , 민병권 (연세대학교 기계공학부) , 김종국 (한국기계연구원 부설 재료연구소)
Recently, focused ion beam (FIB) applications have been investigated for the modification of VLSI circuit, the MEMS processing, and the localized ion doping, A multi aperture FIB system has been introduced as the demands of FIB applications for high speed and large area processing increase. A liquid...
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