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NTIS 바로가기한국소음진동공학회논문집 = Transactions of the Korean society for noise and vibration engineering, v.21 no.5, 2011년, pp.475 - 483
문석준 (한국기계연구원) , 박수홍 (한국산업기술시험원) , 정종안 (한국기계연구원) , 허영철 (한국기계연구원) , 김철호 (한국생산기술연구원) , 최상민 ((주)수퍼센츄리)
A hybrid electromagnetic actuator with an air mount is designed so as to achieve the desired isolation reduce the vibration efficiency on the floor vibration. The performance specification of the hybrid electromagnetic actuator is determined based on the vibration criterion for vibration-sensitive e...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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LCD 등 디스플레이(display) 산업의 대형화, 집적화, 다기능화 등의 성능을 만족하기 위해서 필요한 것은? | LCD 등 디스플레이(display) 산업에서의 대형화, 집적화, 다기능화 등의 성능을 만족하기 위해서는 관련 가공/생산/검사장비 등이 매우 높은 정밀도를 보유하여야 한다. 불량률의 감소에 따른 수율 증대와 생산 공정의 안정화가 고도의 정밀가공이 필요한 생산제품의 경제성과 직접적인 관계를 가지고 있다. | |
공기스프링과 같은 수동형 진동제어방식의 단점은? | 일반적으로 널리 사용하고 있는 공기스프링과 같은 수동형 진동제어방식은 큰 정하중 용량을 보유하고 있으며, 약 20 Hz이상의 주파수 영역에서 우수한 진동차단 효과를 얻을 수 있다. 그러나 저주파수 영역의 자체 공진주파수에서는 내부 가진원에의한 변위가 크게 발생하는 단점이 있다. 예를 들면, 대용량 이동 질량을 가지고 있는 노광기와 같은 장비에는 단독으로 적용하는 데에는 한계가 있다. | |
현재 디스플레이 생산 현장에서 발생하는 난 제들 중의 하나는? | 불량률의 감소에 따른 수율 증대와 생산 공정의 안정화가 고도의 정밀가공이 필요한 생산제품의 경제성과 직접적인 관계를 가지고 있다. 현재 디스플레이 생산 현장에서 발생하는 난 제들 중의 하나는 여러 장비들이 주변 미세 진동들에 의해 기능저하가 됨으로써 수율이 떨어진다는 것이다. 이러한 문제들을 고려하여 디스플레이 공장건물들에 대해 진동허용 규제를 하고 있으나, 실제 운용되는 정밀 장비들의 진동 허용 규제치는 더욱 높은 조건을 요구하고 있다. |
Jang, H. K., Hong, S. I., Kim, H. S., Lee, D. H. and Lee, K. D., 2006, A Vibration Isolation System Design for a Vibration-sensitive Equipment, Transactions of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering, Vol. 16, No. 3, pp. 307-312.
An, C. H., Yim, K. H., Jin, K. B. and Rim, K. H., 2007, Active Control of Vibration Isolation Table Using Air-spring, Transactions of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering, Vol. 17, No. 7, pp. 565-571.
Shin, Y. H., Oh, K. Y., Lee, J. H. and Kim, K. J., 2007, Performance Enhancement of Pneumatic Vibration Isolation Table in Low Frequency by Active Control, Transactions of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering, Vol. 17, No. 1, pp. 72-79.
Sun, J. O., Shin, Y. H. and Kim, K. J., 2007, A Study on Response Analysis of 6-DOF Pneumatic Vibration Isolation Table by Transient Movements of Carriage on It, Transactions of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering, Vol. 17, No. 6, pp. 515-523.
Kim, H. T., Kim, C. H., Lee, K. W., Lee, G. S., Son, S. W. and Chun, C. K., 2009, Performance Estimation of Active Electro-magnetic Isolator for Semiconductor Manufacturing Machine, Proceedings of the KSNVE Annual Spring Conference, pp. 579-580.
통합 진동제어시스템의 반능동형 제진장치로는 MR/ER 댐퍼, 오리피스 댐퍼, 마찰 댐퍼 등이 있으며, 능동형 제진장치로는 공압 스프링, 전자기식 작동기(5), 압전작동기(6), 자기변형 작동기 등을 고려할 수 있다.
Moon, S. J., Jung, H. J., Shin, Y. H., Jang, D. D., Jeong, J. A. and Moon, Y. J., 2011, Development of a Hybrid Mount System Combined Airspring with Piezostack Actuator for Microvibration, Transactions of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering, Vol. 21, No. 1, pp. 56-65.
Gordon, C. G., 1991, Generic Criteria for Vibration-sensitive Equipment, Proceedings of SPIE Conference on Vibration Control and Metrology, pp. 71-85, San Jose, CA
1(7,8)을 활용할 수 있을 것이다.
http://www.newport.com
1(7,8)을 활용할 수 있을 것이다.
Amick, H., Gendreau, M., Busch, T. and Gordon, C. G., 2005, Evolving Criteria for Research Facilities: I - Vibration, Proceedings of SPIE Conference on Buildings for Nanoscale Research and Beyond, pp. 1-13.
Braucer, J. R., 2006, Magnetic Actuators and Sensors, IEEE Magnetic Society, Wiley-Interscience.
일반적으로 Fp는 약 0.7 이하로 설정한다(10).
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