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NTIS 바로가기한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.28 no.3, 2011년, pp.323 - 329
맹새롬 (한국표준과학연구원 기반표준본부 길이센터) , 진종한 (한국표준과학연구원 기반표준본부 길이센터) , , 김재완 (한국표준과학연구원 기반표준본부 길이센터) , 김종안 (한국표준과학연구원 기반표준본부 길이센터) , 강주식 (한국표준과학연구원 기반표준본부 길이센터)
Certified reference materials (CRMs) have been used to calibrate surface profilers for reliable measurements. In this paper, we present a newly designed step height CRM which has a step height pattern with two different widths and various special patterns for checking radial magnification, distortio...
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Quinn, T. J., "Practical realization of the definition of the metre, including recommended radiations of other optical frequency standards (2001)," Metrologia, Vol. 40, No. 2, pp. 103-133, 2003.
Felder, R., "Practical realization of the definition of the metre, including recommended radiations of other optical frequency standards (2003)," Metrologia, Vol. 42, No. 4, pp. 323-325, 2005.
Jin, J., Misumi, I., Gonda, S. and Kurosawa, T., "Pitch measurement of 150 nm 1D-grating Standards Using an Nano-metrological Atomic force Microscope," International Journal of Precision Engineering and Manufacturing, Vol. 5, No. 3, pp. 19-25, 2004.
Kim, J.-A., Kim, J. W., Kang, C.-S. and Eom, T. B., "Measurement of Two-dimensional Gratings Using a Metrological Atomic Force Microscope and Uncertainty Evaluation," International Journal of Precision Engineering and Manufacturing, Vol. 24, No. 9, pp. 68-75, 2007.
ISO-5436-1(Type A) guideline, International Organization for Standardization, www.iso.org
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