최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.20 no.3, 2011년, pp.165 - 175
이규호 (서울대학교 기계항공공학부, 공학연구소) , 이수갑 (서울대학교 기계항공공학부, 공학연구소) , 임종연 (한국표준과학연구원) , 정완섭 (한국표준과학연구원)
This paper introduces statistical features observed from measured batch data from the multiple operation state variables of dry vacuum pumps running in the semiconductor processes. The amplitude distribution characteristics of such state variables as inlet pressures, supply currents of the booster a...
* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.
핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
---|---|---|
건식 진공펌프들의 운전 상태는 어떤 값을 이용하는가? | 건식 진공펌프들의 운전 상태는 기계 내부에 부착된 다중 센서들의 출력 값 즉, 상태변수들의 측정치를 이용한다. 다중 상태변수들을 동시에 고려하는 상태진단 기법들 [3]은 다양하게 개발되었지만, 특히 주성분 분석(PCA, Principal Component Analysis)을 통한 Hotelling's T2 값을 이용하는 기법의 효율성을 이전연구 [4]에서 확인한 바 있었다. | |
건식 진공펌프들의 정밀한 상태진단에 따른 예지 보수에 관한 연구가 중요한 이유는 무엇인가? | 국내외 반도체 및 평판 디스플레이 제작공정에서 진공환경을 제공하는 진공 배기 시스템의 상태진단 기술에 대한 필요성은 이전부터 지적되어온 분야이다 [1]. 국내 반도체 및 평판 디스플레이 업체들의 최근 연구는 진공 배기 시스템의 핵심 부품인 건식 진공펌프들의 정밀한 상태진단에 따른 예지 보수에 초점이 맞추어져 있으며, 이는 생산되는 웨이퍼나 플랫 디스플레이의 크기가 커짐에 따른 생산 비용과 시간 단축 즉, 생산성 극대화에 반드시 필요한 기술이기 때문이다 [2]. | |
주성분 분석(PCA, Principal Component Analysis)을 통한 Hotelling's T2 값을 이용하는 기법이 효율적인 이유는 무엇인가? | 다중 상태변수들을 동시에 고려하는 상태진단 기법들 [3]은 다양하게 개발되었지만, 특히 주성분 분석(PCA, Principal Component Analysis)을 통한 Hotelling's T2 값을 이용하는 기법의 효율성을 이전연구 [4]에서 확인한 바 있었다. 이는 시스템의 상태 변화를 도표로 나타내기 쉽고, 공정의 트렌드를 파악하는데 유용할 뿐 아니라 이상 발생에 기여한 상태변수(contributing state variables)들의 정량적 기여도에 대한 탐색도 가능하기 때문이다 [3]. |
R. Bahren and M Kuhn, Vacuum 44, 709 (1993).
R. L. Mason and J. C. Young, Multivariate Statistical Process Control with Industrial Applications, (ASA SIAM, Philadelphia, 2002). Chap.1-6.
D. Sung, J. Kim, W. Jung, S. Lee, W. Cheung, J.Lim, and K. Chung, J. Korean Vacuum Soc. 15, 338 (2006).
A. Kassida, J. F. MacGregor, and P. A. Taylor,Process systems Engineering, AIChE Journal 44,846 (1998).
V. Pravdova, B. Walczak, and D. L. Massart, Analytica Chimica Acia 456, 77 (2002).
W. S. Cheung, J. Y. Lim, K. H. Chung, and S.G. Lee, U. S. Patent No. 7,653,512 (2010).
W. S. Cheung, J. Y. Lim, K. H. Chung, and S.G. Lee, U. S. Patent No. 7,664,618 (2010).
R. Bro and A. K. Smilde, J Chemometr 17, 16(2003).
E. J. Dudewicz and S.N. Mishra, Modern Mathematical statistics, (Wiley, New York, 1988).
W. H. Press, S. A. Teukolsky, W. T. Vetterling, and B. P. Flannery, Numerical recipes in Fortran the art of scientific computing second edition, (Cambridge university press, New York, 1997).
J. E. Jackson, A User’s guide to Principal Component, (John Wiley and Sons, 1991).
*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.
출판사/학술단체 등이 한시적으로 특별한 프로모션 또는 일정기간 경과 후 접근을 허용하여, 출판사/학술단체 등의 사이트에서 이용 가능한 논문
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.