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PCB 및 패키징 공정에서의 도금 시뮬레이션 기술 적용
Application of Plating Simulation for PCB and Pakaging Process 원문보기

마이크로전자 및 패키징 학회지 = Journal of the Microelectronics and Packaging Society, v.19 no.3, 2012년, pp.1 - 7  

이규환 (한국기계연구원 부설 재료연구소 표면기술연구본부)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Electroplating technology is widely used in semiconductor microelectronic industry. With the development of semiconductor integrated circuit to high density and light-small scale, Extremely high quality and plated uniformity of the deposited metals are needed. Simulation technique can help to obtain...

주제어

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 고에서는 Elsyca 사의 Plating Master 프로그램을 예로 하여 도금 시뮬레이션의 원리를 설명한다.16)
  • 최근 도금 장비 개발, 공정 최적화 및 생산성 향상, 도금 용액 개발 분야에 있어서 도금 시뮬레이션의 중요성을 인식하고 관심이 폭발적으로 증가하고 있다. 본 고에서는 전기도금에서 도금 시뮬레이션이 필요한 이유와 도금 시뮬레이션의 원리에 대해 기술하고, 몇 가지 적용 사례를 소개하고자 한다.
  • 이 결과는 리드프레임 한쪽면에서 단위면적 당금이 77 µg이 전착이 되고 있으며, 하부 도금 두께를 유지하면서 상부의 도금 두께를 낮추면 그만큼 도금되는 금의 양을 절감할 수 있기 때문에 도금 시뮬레이션을 이용하여 그 방안을 찾고자 하였다.
  • 리드 프레임에서 도금 조건은 제품의 신뢰성 확보를 위해 가장 얇은 부분을 기준으로 스펙 두께를 맞추고 있으므로 필요 두께 이상으로 도금이 되는 부분이 존재하게 된다. 최근 세계 금 가격의 폭등으로 인해 원가 부담이 커져서, 도금 시뮬레이션 기술을 적용하여 도금두께 균일화로 전착량을 최소화 하고자 하였다.

가설 설정

  • 1차 전류밀도 분포는 전극/용액계면에서의 과전압을 무시하며, 전극표면에서의 potential은 일정(경계조건:X=0→U=Va, X=L→U=Vc) 하다고 가정된다.
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질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
음극 전류효율은 어떠한 것들로 정의되는가? 한편 음극 전류효율은 Faraday 법칙에 의해 계산된 전착량과 실제 음극에 전착된 양과의 비율로 정의된다.
도금 시뮬레이션이란? 이러한 계기로 최근 도금 시뮬레이션 기술에 대한 관심이 높아지고 있다. 도금 시뮬레이션은 도금 시스템에서 전기장과 분극현상을 해석하여 음극 표면에서의 전류 밀도 및 도금두께 분포를 예측하는 기술이다.1-12)
도금 시뮬레이션 기술에서 전섹셰적으로 상용화된 프로그램에는 어떠한 것들이 있는가? 도금 시뮬레이션 기술이 도금 산업에 적용이 된 것은 최근의 일이다. 전세계적으로 상용화된 시뮬레이션 프로그램으로는 PlatingMaster (Elsyca, 벨기에), Cell-Design (LChem, 미국) Castor Elec 3D(CETIM, 프랑스), EPPS (Uyemura, 일본) 등이 있지만, 그 활용도는 아직 미미하다. 그나마 PlatingMaster 프로그램을 이용한 연구논문과 적용 사례가 일부 보고되고 있는 정도이다.
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참고문헌 (20)

  1. F. Druesne, M. Afzali and R. Mouton, "A New 3D Electroplating Simulation and Design Tool", Plating and surface finishing, June, 20 (2002). 

  2. A. Chaudouet and D. Lange, "The use of boundary integral equation method in mechanical engineering", Second international conference on Applied Numerical Modelling, Madrid (1978). 

  3. F. Druesne and P. Paumelle, "Simulating electrochemical plating for corrosion protection", Corrosion Prevention and Control, 45, 118 (1998). 

  4. J. O'M. Bockris and A. K. N. Reddy, "Modern Electrochemistry", Plemum Press, 1, (1973). 

  5. J. Newman, Electrochemical Systems, 2nd edition, Prentice- Hall, Englewood Cliffs, New Jersey, (1991). 

  6. G. A. Prentice and C. W. Tobias, "A survey of numerical methods and solutions for current distribution problems", Journal of Electrochemical Society, 129, 72 (1982). 

  7. N. G. Zamani, J. F. Porter and A. A. Mufti, "A survey of computational efforts in the field of corrosion engineering", International Journal For Numerical Methods in Engineering, 23, 1295 (1986). 

  8. G. Shi, "Flexural vibration and buckling analysis of orthotropic plates by the boundary element method", International Journal Solids Structures, 26(12), 1351 (1990). 

  9. Snyder D. L., "Electroplating nicke chromium for the automotive industry", Metal Finishing, 95(8), 29 (1997). 

  10. Celis J. P. and Fransaer J., "Composite coatings - new insights leading to improved process control", Trans Ins Metal Finishing, 75(3), 118 (1997). 

  11. C. T. J. Low, E. P. L. Roberts and F. C. Walsh, "Numerical simulation of the current, potential and concentration distributions along the cathode of a rotating cylinder Hull cell", Electrochimica Acta, 52(11), 3831 (2007). 

  12. P. Raffelstetter, B Mollay, B Van den Bossche and G. E. Nauer, "Modeling strategy for predicting current density distributions on PCBs and other complex patterned substrates", Jounal of the Electrochemical Society, 156(2), D51 (2009). 

  13. C. K. Lee, H. J. Sohn and T. Kang, "Mathematical Modeling of Copper Plating with Pulsed Current", J. Kor. Inst. Surf. Eng., 24(3), 125 (1991). 

  14. K. H. Lee, "Development of platform for electrochemical plating process simulation and optimization" in Research Report, No. 10033364, 70, MOSF, Seoul (2012). 

  15. K. H. Lee, Y. J. Hwang, K. M. and J. K. Cho, "Simulation of deposit thickness distribution and optimization of the Cu plating cell", ECWC Proceeding 709 Nov. (2011). 

  16. Elsyca, "PlatingMaster V3.0 Tutorial" p.17, Elsyca Inc. Leuven (2011) from www.elsyca.com 

  17. E. Yeager, J. O. Bockris, B. E. Conway and S. Sarangapani, Editor, "Comprehensive Treaise of Electrochemistry", Vol. 6 (1983). 

  18. J. Newman, "Electrochemistry system", p.378, Prentice-Hall, New York (1991). 

  19. M. W. Jung, K. T. Kim, Y. S. Koo and J. H. Lee, "The Effects of Levelers on Electrodeposition of Copper in TSV Filling", J. Microelectron. Packag. Soc., 19(2), 55 (2012). 

  20. S. C. Hong, W. J. Kim and J. P. Jung, "High-Speed Cu Filling into TSV and Non-PR Bumping for 3D Chip Packaging", J. Microelectron. Packag. Soc., 18(4), 49 (2011). 

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