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NTIS 바로가기마이크로전자 및 패키징 학회지 = Journal of the Microelectronics and Packaging Society, v.19 no.3, 2012년, pp.1 - 7
Electroplating technology is widely used in semiconductor microelectronic industry. With the development of semiconductor integrated circuit to high density and light-small scale, Extremely high quality and plated uniformity of the deposited metals are needed. Simulation technique can help to obtain...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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음극 전류효율은 어떠한 것들로 정의되는가? | 한편 음극 전류효율은 Faraday 법칙에 의해 계산된 전착량과 실제 음극에 전착된 양과의 비율로 정의된다. | |
도금 시뮬레이션이란? | 이러한 계기로 최근 도금 시뮬레이션 기술에 대한 관심이 높아지고 있다. 도금 시뮬레이션은 도금 시스템에서 전기장과 분극현상을 해석하여 음극 표면에서의 전류 밀도 및 도금두께 분포를 예측하는 기술이다.1-12) | |
도금 시뮬레이션 기술에서 전섹셰적으로 상용화된 프로그램에는 어떠한 것들이 있는가? | 도금 시뮬레이션 기술이 도금 산업에 적용이 된 것은 최근의 일이다. 전세계적으로 상용화된 시뮬레이션 프로그램으로는 PlatingMaster (Elsyca, 벨기에), Cell-Design (LChem, 미국) Castor Elec 3D(CETIM, 프랑스), EPPS (Uyemura, 일본) 등이 있지만, 그 활용도는 아직 미미하다. 그나마 PlatingMaster 프로그램을 이용한 연구논문과 적용 사례가 일부 보고되고 있는 정도이다. |
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