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NTIS 바로가기복합재료 : 한국복합재료학회지 = Journal of the Korean Society for Composite Materials, v.25 no.6, 2012년, pp.172 - 177
김영주 ((주)디에스테크노 부설연연구소) , 박영식 ((주)디에스테크노 부설연연구소) , 정연웅 ((주)디에스테크노 부설연연구소) , 송준백 ((주)디에스테크노 부설연연구소) , 박소영 ((주)디에스테크노 부설연연구소) , 임항준 (한국산업기술대학교 신소재공학과)
For the manufacture of low resistance Si-SiC composite, the properties of reaction sintering in the green body of various mixed
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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탄화규소는 어떤 특성으로 인해 대표적 난성형 소재로 분류되는가? | 기계적강도 및 내화학특성이 우수한 탄화규소(SiC)는 mohs 9~10의 다이아몬드 다음가는 경도를 지니고 있기 때문에 대표적 난성형 소재로 분류되어 다양한 형상의 부품적용에 제약이 따른다. 이와 같은 문제점 해결을 위해 α-SiC와 C 분말로 된 성형체내 용융Si을 함침 후 Si과 C의 화학반응에 따라 β- SiC를 생성 및 결합시키는 RBSC(Reaction Bonded Silicon Carbide)공정이 영국의 P. | |
RBSC로 제조된 SiC는 무엇에 적용되는가? | [2] 이러한 RBSC연구결과는 Si + C → SiC 반응으로 β-SiC가 α-SiC표면에 석출됨에 따라 α-SiC입자들 사이에서 미립응집체 분포방식의 충진으로 기공이 없는 치밀한 조직이 생성되어 고온 내부식성, 상온강도, 내마모성 등이 탄화규소와 동등한 수준까지 향상된다고 보고하였다.[2-3] 이러한 이유로 RBSC로 제조된 SiC는 반도체용 process tube, liner tube, wafer carrier등의 boat류와 dummy wafer, edge ring, fork와 같은 loading부품, susceptor, heater등 고온ㆍ내식 공정에서 적용된다. | |
RBSC의 구조용소재를 반도체 부품 적용시 전기 저항제어가 어려운 이유는 무엇인가? | 그러나 RBSC의 구조용소재를 반도체 부품 적용 시 전기 저항제어가 어렵다는 단점이 있다. 전기저항은 출발원료 입도, Si함침, C과 반응에 따른 β-SiC변환율 등이 상관관계로 이루어져 있기 때문이다. 따라서 C을 첨가하여 Si과 반응을 유도 후 β-SiC를 생성시켜 기계적 특성을 연구한 사례는 다양하게 발표되고 있지만, 입도ㆍC함량 변화에 따른 저항특성 연구결과는 알려진 바가 없는 실정이다. |
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