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NTIS 바로가기반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.11 no.1, 2012년, pp.55 - 59
이원재 (가천대학교 전자공학과) , 최명규 (가천대학교 전기공학과) , 장경욱 (가천대학교 전기공학과)
NOx is one of the toxin gases, which is mainly causing the optic-chemical smog phenomena, and decreasing in the function of nose and taste. Especially, NO is easily reacting with
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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질소 산화물 가스센서에 요구되는 성능은 무엇인가? | 질소 산화물 가스센서는 저 농도와 고농도 가스검출이 가능하여야 하고, 질소 산화물 이외의 가스, 습도, 온도에는 영향을 받지 않아야 하며, 장수명, 높은 정확성, 낮은 동작온도, 대량생산, 작은 크기, 낮은 소모전력, 저렴한 가격 등을 고루 갖추어야만 실용화 할 수 있다[1,2]. | |
온도가 증가함에 따라서 NOx가스의 흡착에 따라서 저항이 감소하는 이유는 무엇인가? | 그림에서 알 수 있는 바와 같이 온도가 증가함에 따라서 NOx가스의 흡착에 따라서 저항이 감소하는 것을 알 수 있었다. 이는 온도가 증가하면 NOx 가스 분자와 MWCNT 박막의 상호 작용이 활발하게 증가하여 박막의 저항율이 감소하는 것으로 판단되었다. 30oC에서 측정된 가스 검출 특성을 보면, 0. | |
실용화된 질소 산화물 검출센서의 종류는 무엇이 있는가? | 현재 질소 산화물 가스센서는 몇몇의 업체에서 일부 상용화되었지만, 고성능이면서 저가격을 갖춘 센서의 개발은 미흡한 상황이다. 지금까지 실용화된 질소 산화물 검출센서는 세라믹/ 반도체식 센서(접촉 연소식. 열 전식 및 반도체 후막식), 반도체 소자식(MISFET, MOS), 광학식 센서 및 전기화학식 등이 사용되었지만 저농도 가스를 검출하는데 한계가 있다[3,4]. |
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