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Equipment Fan Filter Unit (EFFU)의 Particle 제거 성능평가 방법
Test Method for Particle Removal Characteristic of Equipment Fan Filter Unit (EFFU) 원문보기

반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.11 no.2, 2012년, pp.59 - 62  

이양우 (한양대학교 기계공학과) ,  안강호 (한양대학교 기계공학과)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

This test method covers a procedure for measuring particle removal characteristic of equipment fan filter unit(EFFU) installed inside of semiconductor process equipments, FPD manufacturing equipments and so on. Since EFFU is a combination of air filter and the assembly of fan, motor and frame, the i...

주제어

#Equipment Fan Filter Unit (EFFU)   #Particle removal characteristics   #Enclosed space   #Test method  

AI 본문요약
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문제 정의

  • 그러나 EFFU의 제조 특성상 풍량과 fan, filter, frame 들의 system integrity 등이 EFFU의 particle 제거 특성에 영향을 미칠 것이다. 따라서 본 논문에서는 EFFU의 particle 제거 특성을 평가하기 위한 방법을 제시하고자 한다.

가설 설정

  • 일반적으로 EFFU에 장착된 filter의 성능을 EFFU의 particle제거 성능으로 보고 현장에서 사용하고 있으나, 이는 fan 과 filer 혹은 frame 사이에 간극 없이 밀착이 잘 되어 particle이 빠져나가지 않는 다는 가정하에서는 성립한다고 볼 수 있다. 그러나 EFFU의 제조 특성상 풍량과 fan, filter, frame 들의 system integrity 등이 EFFU의 particle 제거 특성에 영향을 미칠 것이다. 따라서 본 논문에서는 EFFU의 particle 제거 특성을 평가하기 위한 방법을 제시하고자 한다.
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질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
EFFU의 particle 제거 특성에 영향을 미칠 수 있는 요인은 무엇인가? 일반적으로 EFFU에 장착된 filter의 성능을 EFFU의 particle제거 성능으로 보고 현장에서 사용하고 있으나, 이는 fan 과 filer 혹은 frame 사이에 간극 없이 밀착이 잘 되어 particle이 빠져나가지 않는 다는 가정하에서는 성립한다고 볼 수 있다. 그러나 EFFU의 제조 특성상 풍량과 fan, filter, frame 들의 system integrity 등이 EFFU의 particle 제거 특성에 영향을 미칠 것이다. 따라서 본 논문에서는 EFFU의 particle 제거 특성을 평가하기 위한 방법을 제시하고자 한다.
EFFU란? 이의 해결책으로 최근 들어 제조 장비 내부에 fan 과 filter가 부착된 장치를 설치하는 경우가 늘어나고 있다. 이러한 fan과 filter가 일체가 되어 제조장비 내부에 설치되어 particle을 제거하는 장치를 equipment fan filter unit (EFFU)라 부른다.
제조 장비의 내부의 particle 제어에 관한 어려움을 해결하기 위해 어떠한 장치를 설치하는 경우가 늘고 있는가? 그러나 클린룸 자체의 청정도는 매우 잘 유지할 수 있으나 제품을 생산하는 제조장비의 내부는 아직 particle 제어에 많은 어려움을 겪고 있다. 이의 해결책으로 최근 들어 제조 장비 내부에 fan 과 filter가 부착된 장치를 설치하는 경우가 늘어나고 있다. 이러한 fan과 filter가 일체가 되어 제조장비 내부에 설치되어 particle을 제거하는 장치를 equipment fan filter unit (EFFU)라 부른다.
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참고문헌 (3)

  1. 한국산업규격, SPS-KACA010-0140(2002.12.31) 팬필터 유닛 

  2. SEMI F38-0699 - Test method for efficiency qualification of point-of-use gas filters 

  3. 최석호, 안강호 (1997) "동적특성방법을 이용한 실내용 공기청정기의 효율 평가" 공기조화 냉동공학회 '97 하계학술발표회 논문집, pp273-278. 

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