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전산유체해석을 이용한 Fan Filter Unit(FFU)의 가이드 베인 형상설계
CFD Based Shape Design of Guide Vane for Fan Filter Unit 원문보기

大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers. B. B, v.37 no.7 = no.334, 2013년, pp.709 - 716  

장준환 (국민대학교 대학원 기계공학과) ,  안준 (국민대학교 기계시스템공학부) ,  명현국 (국민대학교 기계시스템공학부)

초록
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팬 필터 유닛 (FFU)은 청정실 천정에 설치되어 정화된 공기를 공급하는 장치이다. FFU가 대형화되면서 출구면에서 속도가 불균일해지고 결과적으로 청정실에서 생산되는 제품의 품질 또는 생산성을 떨어뜨리게 된다. 이러한 문제를 해결하기 위해 가이드 베인이 설치되는데 가이드 베인은 속도를 균일하게 하지만 유동저항을 유발하여 동력이 일정하게 주어진 경우 공급되는 유량을 감소시킨다. 따라서 속도 균일성을 확보하면서 유량 감소를 최소화하는 최적설계가 요구된다. 본 연구에서는 FFU의 외벽과 중앙에 설치된 가이드 베인의 각도와 길이를 변경하면서 수치해석을 수행하여 가이드 베인의 성능 개선 방안을 도출하였다. 외벽에 설치된 가이드 베인의 경우, 형상을 변경하여 유량이 1.5% 감소하는 조건에서 속도 균일도를 3.7% 향상시킬 수 있었다. 중앙 가이드 베인의 경우 유량이 0.7% 감소하는 조건에서 속도 균일도를 2.9% 향상시킬 수 있었다.

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

A fan filter unit (FFU) is a device which supplies clean air from the ceiling in a clean room. With an increase in its size, velocity variation occurs within the exhaust plane and this damage the product quality or productivity. Hence, a guide vane is installed inside the device to enhance the veloc...

주제어

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 연구에서는 FFU의 가이드 베인의 형상 변화에 따른 유동해석을 통해 속도 균일도 및 유량 변화를 관찰하여 다음과 같은 결론을 얻었다.
  • 본 연구에서는 설계변수에 따른 해석에 앞서 수치해석으로 예측한 FFU의 발생유량 및 속도 균일도의 정확도를 검증하기 위하여 기존 형상에 대하여 기준 실험을 수행하였다. 실험 장치는 Fig.

가설 설정

  • 3). 연구목표가 속도 균일도 개선과 유속 저감의 최소화이기 때문에 필터가 없는 조건에서 속도 균일도를 최대화 한다면, 필터를 설치해도 높은 균일도를 얻을 수 있을 것으로 가정하여 필터 부분은 해석과정에서 생략하여 보다 경제적인 해석이 되도록 하였다.
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질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
청정 환경을 유지하는 방법은 무엇이 있는가 우리나라 국가 경제에 큰 영향을 주고 있는 LCD(Liquid Crystal Display), FPD(Flat Panel Display) 등의 제조공정은 청정실(clean room)에서 이루어진다. 청정 환경을 유지하는 방법으로는 청정 터널(clean tunnel module), 축류팬(axial fan), 국소환경(mini-environment) 시스템 등이 있는데(1) 본 연구에서는 팬 필터 유닛(fan filter unit, 이하 FFU로 칭함)에 관련한 연구를 수행하였다.
FFU란 무엇인가 FFU는 청정실 천정에 설치되어 하부로 청정공기를 공급하여 하강기류를 생성시킴으로써 오염을 줄이는 장치로서 Fig. 1(a)에 보인 것과 같이 하우징 내부에 소형 팬(fan)과 고효율 입자-공기 (High-Efficiency-Particulate Air: HEPA) 필터, 또는 초저침투 공기(Ultra Low Penetration Air: ULPA) 필터로 구성되며,(2) 일반적으로 FFU에서는 Fig.
대형 FFU 장비에서 속도 균일도를 확보하는 동시에 유량 저감을 최소화하는 최적설계가 요구되는 이유는 무엇인가 (3) 대형 FFU 장비의 경우, 중심부 및 외곽 쪽의 기류 편차가 발생하여 제품의 품질이나 생산성을 떨어뜨릴 수 있다. 출구에서의 속도 균일도를 확보하는 방안으로 FFU 내부에 가이드 베인(guide vane)을 설치하는 방법이 사용되고 있는데 속도 균일도는 개선되는 반면 가이드 베인에 의한 추가적인 압력강하로 인해 유량이 감소하는 문제가 발생하게 된다. 따라서 속도 균일도를 확보하는 동시에 유량 저감을 최소화하는 최적설계가 요구된다.
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참고문헌 (9)

  1. Noh, K.-C., Oh, M.-D. and Lee, S.-C., 2004, "A Study on the 3-D Airflow and Dynamic Cross Contamination in the Photolithography Process Clean Room," Trans. Korean Soc. Mech. Eng. B, Vol. 28, No. 5, pp. 560-568. 

  2. Xu, T., Lan, C.-H. and Jeng, M.-S., 2007, "Performance of Large Fan-filter Units for Cleanroom Applications," Building & Environment, Vol. 42, pp. 2299-2304. 

  3. Chen, J.-J., Lan, C.-H., Jeng, M.-S. and Xu, T., 2007, "The Development of Fan Filter Unit with Flow Rate Feedback Control in a Cleanroom," Building & Environment, Vol. 42, pp. 3556-3561. 

  4. Hu, S.C., Wu, Y.Y. and Liu, C.J., 1996, "Airflow Characteristics in Cleanrooms," Building & Environment, Vol. 31, No.2, pp. 119-128. 

  5. Noh, K.-C., Lee, H.-C., Kim, D.-Y. and Oh, M.-D., 2007, "Method of Particle Contamination Control for Yield Enhancement in the Cleanroom" Trans. Korean Soc. Mech. Eng. B, Vol. 31, No. 6, pp. 522-530. 

  6. Hu, S.C. and Chuah, Y.K., 2003, "Deterministic Simulation and Assessment of Air-recirculation Performance of Unidirectional-flow Cleanrooms that Incorporate Age of Air Concept," Building & Environment, Vol. 38, No.4, pp. 564-570. 

  7. Lee, S., Ahn, J. and Shin, S., 2009, "Numerical Optimization of Temperature Distribution in HRSG System Using Inlet Guide Vane," Trans. of the KSCFE, Vol. 14, No. 3, pp. 1-8. 

  8. Nam, S.-H., Kim, Y.-T., Choi, Y.-D. and Lee, Y.-H., 2008, "Performance Characteristics of Small Tubular-type Hydroturbine according to the Guide Vane Opening Angle by Experiment and CFD," Trans. of the KFMA, Vol. 11, No. 5, pp. 44-49. 

  9. Yu, H.-R, Jung, Y.-R and Park, W.-G., 2004, "Numerical Flow Analysis of Ducted Marine Propeller with Pre-Swirl Guidevane," Trans. of the KSCFE, Vol. 9, No. 2, pp. 62-68. 

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