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NTIS 바로가기반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.11 no.2, 2012년, pp.59 - 62
이양우 (한양대학교 기계공학과) , 안강호 (한양대학교 기계공학과)
This test method covers a procedure for measuring particle removal characteristic of equipment fan filter unit(EFFU) installed inside of semiconductor process equipments, FPD manufacturing equipments and so on. Since EFFU is a combination of air filter and the assembly of fan, motor and frame, the i...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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EFFU의 particle 제거 특성에 영향을 미칠 수 있는 요인은 무엇인가? | 일반적으로 EFFU에 장착된 filter의 성능을 EFFU의 particle제거 성능으로 보고 현장에서 사용하고 있으나, 이는 fan 과 filer 혹은 frame 사이에 간극 없이 밀착이 잘 되어 particle이 빠져나가지 않는 다는 가정하에서는 성립한다고 볼 수 있다. 그러나 EFFU의 제조 특성상 풍량과 fan, filter, frame 들의 system integrity 등이 EFFU의 particle 제거 특성에 영향을 미칠 것이다. 따라서 본 논문에서는 EFFU의 particle 제거 특성을 평가하기 위한 방법을 제시하고자 한다. | |
EFFU란? | 이의 해결책으로 최근 들어 제조 장비 내부에 fan 과 filter가 부착된 장치를 설치하는 경우가 늘어나고 있다. 이러한 fan과 filter가 일체가 되어 제조장비 내부에 설치되어 particle을 제거하는 장치를 equipment fan filter unit (EFFU)라 부른다. | |
제조 장비의 내부의 particle 제어에 관한 어려움을 해결하기 위해 어떠한 장치를 설치하는 경우가 늘고 있는가? | 그러나 클린룸 자체의 청정도는 매우 잘 유지할 수 있으나 제품을 생산하는 제조장비의 내부는 아직 particle 제어에 많은 어려움을 겪고 있다. 이의 해결책으로 최근 들어 제조 장비 내부에 fan 과 filter가 부착된 장치를 설치하는 경우가 늘어나고 있다. 이러한 fan과 filter가 일체가 되어 제조장비 내부에 설치되어 particle을 제거하는 장치를 equipment fan filter unit (EFFU)라 부른다. |
한국산업규격, SPS-KACA010-0140(2002.12.31) 팬필터 유닛
SEMI F38-0699 - Test method for efficiency qualification of point-of-use gas filters
최석호, 안강호 (1997) "동적특성방법을 이용한 실내용 공기청정기의 효율 평가" 공기조화 냉동공학회 '97 하계학술발표회 논문집, pp273-278.
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