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NTIS 바로가기전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.25 no.4, 2012년, pp.294 - 297
이정호 (광운대학교 전자재료공학과) , 안정준 (광운대학교 전자재료공학과) , 구상모 (광운대학교 전자재료공학과)
In this work, local oxidation behavior in phosphorous ion-implanted 4H-SiC has been investigated by using atomic force microscopy (AFM). The AFM-local oxidation (AFM-LO) has been performed on the implanted samples, with and without activation anneal, using an applied bias (~25 V). It has been clearl...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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SKPM은 무엇을 측정할 수 있는가? | 원자힘 현미경 (atomic force microscopy, AFM)은 수 마이크로에서 수 나노 미터에 이르는 미세구조를 분석 가능한 장비로써 알려져 있다. 기 발표된 연구를 보면 상대적인 일함수를 측정할 수 있는 SKPM(scanning kelvin potential microscopy)과 상대적인 저항을 측정하는 SRM scanning resistance microscopy)과 같은 전기적인 특성 측정 뿐 아니라 국소 산화 (local oxidation)와 스크래칭 (scratching)과 같은 나노패턴을 구현하는 연구 분야로 확대되고 있다. 이러한 응용분야 중 하나로 국소 산화는 적절한 습도를 유지하는 상황에서 팁과 시료 간의 전계를 인가함으로써 시료표면에 나노 스케일의 산화물 패턴을 생성시키는 기술이다. | |
원자힘 현미경은 어떤 구조를 분석 가능한 장비인가? | 원자힘 현미경 (atomic force microscopy, AFM)은 수 마이크로에서 수 나노 미터에 이르는 미세구조를 분석 가능한 장비로써 알려져 있다. 기 발표된 연구를 보면 상대적인 일함수를 측정할 수 있는 SKPM(scanning kelvin potential microscopy)과 상대적인 저항을 측정하는 SRM scanning resistance microscopy)과 같은 전기적인 특성 측정 뿐 아니라 국소 산화 (local oxidation)와 스크래칭 (scratching)과 같은 나노패턴을 구현하는 연구 분야로 확대되고 있다. | |
국소 산화 기술은 어떤 기술인가? | 기 발표된 연구를 보면 상대적인 일함수를 측정할 수 있는 SKPM(scanning kelvin potential microscopy)과 상대적인 저항을 측정하는 SRM scanning resistance microscopy)과 같은 전기적인 특성 측정 뿐 아니라 국소 산화 (local oxidation)와 스크래칭 (scratching)과 같은 나노패턴을 구현하는 연구 분야로 확대되고 있다. 이러한 응용분야 중 하나로 국소 산화는 적절한 습도를 유지하는 상황에서 팁과 시료 간의 전계를 인가함으로써 시료표면에 나노 스케일의 산화물 패턴을 생성시키는 기술이다. 현재 소자제작에 널리 사용되고 있는 광식각 기술은 단시간 내에 대량의 패턴을 만들 수 있는 장점을 가지고 있지만 마스크제작에 소모되는 비용과 시간 등의 단점이 존재한다. |
S. M. Koo, The proceedings of KIEE, 59, 14 (2010).
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