참고문헌 (21)

1. 이진복, 문동민, 김광섭, 민들레, 김진석, "전기가열방식 스크러버의 $NF_3$ 제거효율," 한국대기환경학회 추계학술대회 논문집, pp. 549-550(2006) 

2. Yang, C. F., Kam, S. H., Liu, C. H., Tzou, J. and Wang, J. L., "Assessment of removal efficiency of perfluorocompounds (PFCs) in a semiconductor fabrication plant by gas chrotography," Chemosphere, 76, 1273-1277(2009) 

   상세보기

3. 강나경, "PFC회수를 위한 탄소분자체막에 대한 실험 및 전산모사에 관한 연구," 석사학위논문, 공주대학교(2001) 

4. 박광수, " $SF_6$ gas대체를 위한 $NF_3,\;COF_2$ gas의 SiNx와 a-Si Dry Etch Rate 특성비교," 석사학위논문, 한국항공대학교(2011) 

5. Niu, X., Sun, L., Wang, Y., Wu, H. and Xu, X., " $NF_3$ decomposition over some metal oxides in the absence of water," J. Natural Gas Chem., 19, 463-467(2010) 

   상세보기

6. Wang, Y. P., Wang, L. C., Shih, M. L. and Tsai, C. H., "Effects of experimental parameters on $NF_3$ decomposition fraction in an oxygen-based RF plas environment," Chemosphere, 57, 1157-1163(2004) 

   상세보기

7. Tsai, W. T., "Environmental and health risk analysis of nitrogen trifluoride $(NF_3)$ , a toxic and potent greenhouse gas," J. Hazard. Mater., 159, 257-263(2008) 

   상세보기

8. Solomon, S., D. Qin, M. nning, R.B. Alley, T. Berntsen, N. L. Bindoff, Z. Chen, A. Chidthaisong, J. M. Gregory, G. C. Hegerl, M. Heimann, B. Hewitson, B. J. Hoskins, F. Joos, J. Jouzel, V. Kattsov, U. Lohmann, T. Matsuno, M. Molina, N. Nicholls, J. Overpeck, G. Raga, V. Raswamy, J. Ren, M. Rusticucci, R. Somerville, T. F. Stocker, P. Whetton, R. A. Wood, and D. Wratt, 2007: Technical Summary. In: Clite Change 2007: The Physical Science Basis. Contribution of Working Group I to the Fourth Assessment Report of the Intergovernmental Panel on Clite Change [Solomon, S., D. Qin, M. nning, Z. Chen, M. Marquis, K. B. Averyt, M. Tignor and H. L. Miller (eds.)]. Cambridge University Press, Cambridge, United Kingdom and New York, NY, USA. 

9. 김지황, " $C_3F_3$ 및 $C_4F_8$ 리모트 플라즈마를 이용한 PECVD 질화규소막 세정의 지구온난화에 대한 N 포함 가스의 첨가 효과," 석사학위논문, 성균관대학교(2003) 

10. 이현정, 이민우, 이현경, 이상협, "고분자 중공사 분리막을 이용한 $N_2/SF_6$ 혼합가스로부터 $SF_6$ 의 분리 및 회수," 대한환경공학회지, 33(1), 47-53(2011) 

    원문보기 상세보기

11. 이선화, 박노국, 윤석훈, 장원철, 이태진, " ${\gamma}\;-\;Al_2O_3$ 촉매상에서 가수분해와 산화반응에 의한 $SF_6$ 촉매분해 특성," Clean Technol., 15(4), 273-279(2009) 

12. 크린시스템코리아, "화염-플라즈마를 이용하여 반도체 공정 발생 1,000 LPM 규모의 PFCs 처리기술개발," 환경부(2010) 

13. 김기준, "휘발성 유기화합물(VOC)제어를 위한 전자빔과 촉매 coupling 기술," 박사학위논문, 건국대학교(2007) 

14. 장재혁, 배준석, 김병남, 박완식, 김숙동, 원양수, 한도홍, "흐름 반응기에서 전자빔에 의한 방향족 휘발성 유기 화합물의 분해," Appl. Chem., 7(1), 353-356(2003) 

15. 배준석, 김혜영, 김병남, 원양수, 한도홍, "암모니아와 물 존재 하에서 전자빔 조사에 의한 $SO_2$ 및 NOx의 동시제거를 위한 연속건식공정," Appl. Chem., 8(2), 693-696(2004) 

16. 김조천, 이기완, 김기준, "전자빔 공정을 이용한 VOCs의 분해특성 연구," 한국환경기술학회지, 1(3), 289-296(2000) 

17. 박강남, 김기준, 김조천, 선우영, 송희남, "EBeam-촉매 Coupling을 이용한 톨루엔 제어 특성 연구," 한국대기환경학회지, 21(6), 667-673(2005) 

    원문보기 상세보기

18. Hirota, K., Matzing, H., Paur, H. R. and Woletz, K., "Analyses of products formed by electron beam treatment of VOC/ air mixtures," Radiation Phys. Chem., 45(4), 649-655(1995) 

    상세보기

19. 손윤석, "전자빔 Hybrid를 이용한 악취물질 제어연구 및 염색폐수처리시설에 대한 적용," 박사학위논문, 건국대학교 (2012) 

20. 한국염색기술연구소, "염색폐수처리시설 악취물질의 하이브리드형 라디칼 고도산화 처리기술개발," 환경부(2011) 

21. 김필헌, "고도산화기술을 이용한 트리메틸아민의 제어특성 연구," 석사학위논문, 건국대학교(2010) 

저자의 다른 논문 :

류재용 (10) 김종범 (41) 이상준 (12) 곽희성 (1)