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NTIS 바로가기한국산학기술학회논문지 = Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society, v.13 no.3, 2012년, pp.1279 - 1283
SiOC films made by the inductive coupled CVD with dimethyldimethoxysilane were analyzed to find out the correlation between the chemical and optical properties by using the Foruier transform infrared spectroscopy, spectrophotometer and ellipsometer. The bonding structure of SiOC film was formed duri...
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