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차세대 디스플레이를 위한 박막트랜지스터 열처리 기술 원문보기

인포메이션 디스플레이 = Information display, v.13 no.2, 2012년, pp.11 - 14  

장성필 (고려대학교 공과대학 전기전자전파공학과 디스플레이 및 나노시스템 연구실) ,  주병권 (고려대학교 공과대학 전기전자전파공학과 디스플레이 및 나노시스템 연구실)

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AI 본문요약
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문제 정의

  • 이를 저온공정으로 대신하기 위하여 개발 된 것이 ELA(Excimer Laser Annealing)이지만, 이는 소자특성의 균일성 부분에서 취약한 문제를 가지고 있다. 최근에는 기판의 온도제한성, 박막의 선택적 열처리의 필요성, 열처리 효율 향상의 필요성등이 제기됨에 따라서, 여러가지 열처리 기술이 시도되고 있으며, 본문에서는 원자에 에너지를 공급하는 여러가지 방법에 대해서 기술하고자 한다.
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질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
LCD의 구동 방식은 어떻게 되는가? 인간에게 시각적인 정보를 전달하는 대표적인 매체가 디스플레이 이며, 이러한 디스플레이 산업에서 기존의 LCD(Liquid Crystal Display)의 시대에서 OLED (Organic Light Emitting Diode)로 디스플레이의 흐름이 이동하면서, 지금까지 사용되어 왔던, 비정질 실리콘(a-Si)은 많은 한계를 보일 수 밖에 없었다. 이는 LCD와 OLED의 구동방식에서 그 차이를 이해할 수 있는데, LCD의 경우는 BLU(Back Light Unit)에서 일정한 빛을 방출하고, 이를 액정을 이용하여 빛의 투과도를 결정하는 방식이다. 이러한 방식의 디스플레이의 경우, 스위칭 소자의 On/Off만 확실하면 크게 무리가 없다.
OLED의 구동방식은? 하지만, OLED의 경우 Anode와 Cathode를 통하여 Hole과 Electron을 흘려보내고, 이를 EL층(Emission Layer)에서 재결합시켜서 그 밴드갭에 해당하는 파장의 빛을 외부로 방출하는 방식이다.[1] 즉, 다시 말하면 OLED의 경우 발광되는 빛의 휘도를 높이기 위해서는, 그만큼 많은 Hole과 Electron을 흘릴 수 있는 스위칭 소자가 필요하다는 의미가 되는데, 스위칭 소자에서 많은 전류를 흘려주기 위해서는 반도체 층의 이동도가 높아야 한다.
재료적인 측면에서 이동도를 향상시키는 방법인 결정화란 무엇인가? 재료적인 측면에서 이동도를 향상시키기 위한 방법으로는 결정화시키는 방법이 가장 대중적으로 사용되고 있다. 결정화, 즉 이는 반도체층을 구성하는 각각의 원자가 Local site에서 최대한 안정적인 위치로 이동할 수 있도록 추가적인 에너지를 공급하는 과정으로 이해될 수 있다. [표 1]은 차세대 디스플레이를 위하여 a-Si를 대체할 수 있는 Candidates에 대해 연구되고 있는 재료들에 대한 특성을 보인 것이다.
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참고문헌 (5)

  1. 정호균, "OLED 기술 개발 현황과 과제", 물리학과 첨단기술 14권 제4호 pp.3-5, (2005). 

  2. 김종우, 서한, 장성필, 주병권,"산화물 박막트랜지스터 기술동향", 월간디스플레이 10월호, pp.55-63, (2009). 

  3. L. Herbst, F. Simon, U. Rebhan, R. Osmanow, and B. Fechner,"New Technology for Creation of LTPS with Excimer Laser Annealing", Asia Display/IMID 04 Proceedings, (2004). 

  4. K. Song, C. Y. Koo, T. Jun, D. Lee, Y. Jeong, J. Moon, Journal of Crystal Growth 326, pp.23-27 (2011). 

  5. D. K. Cheng, "Field and Wave Electromagnetic Waves 2nd Ed.", Addison Wesley, pp.386-397 (1989). 

저자의 다른 논문 :

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