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NTIS 바로가기照明·電氣設備學會論文誌 = Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers, v.26 no.6, 2012년, pp.59 - 65
This paper presents a digital control solution which can extract the reactor parameters in atmosphere plasma power supply. The critical issue of the atmosphere plasma power supply is a impedance matching. For the impedance matching, the reactor parameters should be known, but the parameters depend o...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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폴리머나 메탈 소재 표면의 미세 유기오염물 또는 산화물 제거는 플라즈마의 어떤 특징을 이용한 것인가? | 대기압 플라즈마 반응기는 상압의 중성가스에 높은 전계를 인가하여 중성가스의 일부분이 양성자와 전자로 분리되고 전계의 에너지에 의해서 중성 기체와 전자 및 양성자가 혼합된 플라즈마를 발생시키는 장비로서 그림1에 나타내었다. 이러한 플라즈마는에너지가 높고 불안정하여 화학적 활성상태가 되는데 이를 이용하여 폴리머나 메탈 소재 표면의 미세 유기오염물 또는 산화물 등을 효과적으로 제거할 수 있다. | |
대기압 플라즈마 반응기란? | 대기압 플라즈마 반응기는 상압의 중성가스에 높은 전계를 인가하여 중성가스의 일부분이 양성자와 전자로 분리되고 전계의 에너지에 의해서 중성 기체와 전자 및 양성자가 혼합된 플라즈마를 발생시키는 장비로서 그림1에 나타내었다. 이러한 플라즈마는에너지가 높고 불안정하여 화학적 활성상태가 되는데 이를 이용하여 폴리머나 메탈 소재 표면의 미세 유기오염물 또는 산화물 등을 효과적으로 제거할 수 있다. | |
본 논문에서 제안한 인버터 측의 전압과 전류의 위상차를 검출하여 유ㆍ무효 전력을 계산하여 자동으로 임피던스 추출을 할 수 있는 방법의 장점은? | 따라서 난제로 걸림돌이 반응기의 변화 및 공정조건의 변경에 따른 운전 조건을 쉽게 대응할 수 있게 할 것이다. 제안된 방법을 사용 시 임피던스 매칭기가 필요하지 않아 초기구입비가 절감 될 수 있는 효과와 반응기의 변경에도 새로운 전원장치의 구입 없이 기존의 전원장치를 사용할 수 있어 유지 및 보수에서 비용을 절감할 수 있다. 시뮬레이션 및 실험을 통하여 검증을 수행하였으나. |
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