최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기한국표면공학회지 = Journal of the Korean institute of surface engineering, v.45 no.3, 2012년, pp.111 - 116
박혜선 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부) , 양지훈 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부) , 정재훈 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부) , 송민아 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부) , 정재인 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부)
Oblique angle deposition (OAD) is a physical vapor deposition method which utilizes non-normal angles between the substrate and the vaporizing source. It has been known that tilting the substrate changes the properties of the film deposited on it, which was thought to be a result of morphological ch...
* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.
핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
---|---|---|
빗각 증착법이란? | 본 연구에서는 PVD의 하나인 스퍼터링 공정에서 빗각 증착법(oblique angle deposition; OAD)을 이용하여 알루미늄 박막의 주상정 형성을 억제하고 치밀한 구조의 알루미늄 박막을 제작하여 모재의 부식을 방지할 수 있는 우수한 특성의 보호막을 구현하고자 하였다. OAD는 입사 증기가 기판에 수직으로 입사하는 것이 아니라 비스듬하게 입사하도록 조절하여 코팅하는 물리증착 기술로 박막의 조직을 다양하게 제어할 수 있는 방법 중의 하나로 알려져 있다6,7). 초기에는 빗각을 가진 정지된 기판 위에 물질을 코팅하는 방법이 주로 사용되었으나 최근에는 기판의 각도와 회전을 동시에 조절하여 코팅하는 스침각 증착법(glancing angle deposition: GLAD)이 개발되어 비스듬한 기둥이나 나선형 및지그재그(zigzag) 구조의 복잡하고 다양한 형태의 박막 제조가 가능해졌다8,9). | |
알루미늄이 높은 내식성을 가지는 이유는? | 이러한 우수한 특성으로 인해서 알루미늄은 우주항공, 자동차 등의 부품에 주로 사용되며 또한 부식이 쉽게 일어나는 철강 소재나 영구자석의 부식방지를 위한 보호막으로 사용된다1-3). 알루미늄이 높은 내식성을 가지고 있는 이유는 희생방식 특성과 함께 알루미늄 표면에 안정된 산화막이 형성되어 공기나 수분이 모재에 도달하는 것을 막아주는 역할을 하기 때문인 것으로 알려져 있다4). 따라서 알루미늄 박막의 조직이 치밀하면 치밀할수록 부식 매체가 모재에 도달하는 것을 지연시킬 수 있어 내식성이 향상될 것으로 기대할 수 있다. | |
PVD 방법으로 박막 제작시 대부분의 박막은 주상정 구조로 성장하는데 이때 발생하는 문제는? | PVD 방법으로 박막을 제작하면 대부분의 박막은 주상정 구조로 성장하게 된다5). 이렇게 주상정의 박막이 형성 되면 주상정과 주상정 사이에 존재하는 기공으로 부식 매체가 침투할 수 있는 통로가 만들어지기 때문에 모재가 쉽게 부식이 발생하게 된다. |
P. Fellener, M. C. Paucivova, K. Mataisovsky, Surf. Technol., 14 (1981) 101.
C. C. Yang, Mater. Chem. Phys., 37 (1994) 355.
G. S. Frankel, J. Electrochem. Soc., 145 (1998) 2186.
E. Lugscheider, C. Barimani, C. Wolff, S. Guerreiro, G. Doepper, Surf. Coat. Technol., 86-87 (1996) 177.
J. M. Nieuwenhuizen, H. B. Haanstra, Philips Tech. Rev., 27 (1966) 87.
John J. Steele, Michael J. Brett, J. Mater. Sci.: Mater. Electron., 18 (2007) 368.
K. Robbie, M. J. Brett, J. Vac. Sci. Technol., A15 (1997) 1460.
B. Dick, M. J. Brett, in Encyclopedia of Nonoscience and Nanotechnology, 6 (2004) 703.
J. J. Sreele, J. P. Gospodyn, J. C. Sit, M. J. Brett, IEEE Sensor. J., 6 (2006) 24.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.