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문제 정의
- 그러나 앞서 발표된 두 연구에서 사용된 광픽업헤드는 포토다이오드의 광축과 대물렌즈의 광축이 일직선상에 있는 형태로 측정하고자 하는 시편을 직접적으로 볼 수 없기 때문에, 시편의 초기측정 위치 결정에 있어 부가적인 광학현미경이나 장치가 필요한 단점이 있었다. 따라서 본 연구에서는 광픽업헤드를 이용하여 구조가 컴팩트하며, 동시에 시편의 위치를 직접적으로 확인이 가능한 형태의 굽힘 측정시스템을 제안한다. 2장에서는 광픽업헤드에 적용되는 측정원리와 본 논문에서 사용된 광픽업헤드의 특성에 대해서 기술하고, 3장에서는 실제 원자현미경에 적용하여 가능성을 평가하였다.
- 본 논문에서는 비점수차법을 기초로 한 광픽업 헤드를 사용하여 마이크로캔틸레버의 굽힘 측정을 위한 센싱시스템을 개발하였다. 이 시스템은 광학요소들이 일체화된 하나의 부품을 사용하여 센싱시스템의 구조를 컴팩트하게 만들 수 있어, 향후 컴팩트한 구조의 프로브헤드 개발을 통해 멀티 프로브 형태의 원자현미경 개발도 가능할 것으로 기대된다.
- 본 연구에서 측정시스템 구축을 위한 광픽업헤드의 선정은 시편을 직접적으로 확인 가능한 구조인지에 주안점을 두고 진행하였다. 이에 따라 최종적으로 선정된 모델은 Sanyo에서 제작한 SF-HD67 로서 현재 Play Station 3에 사용되고 있어 모듈 형태로 쉽게 구할 수 있다.
- 본 연구에서는 광픽업헤드의 안정적인 구동을 위하여, 광원의 전원을 일정하게 해주는 auto power circuit (APC)를 설계 제작하였으며, 또한 4분할 포토다이오드로부터 나오는 출력값을 연산 하는 회로를 제작하였다. Fig.
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