초록 ▼

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1. 분석자 서문

마이크로 캔틸레버는 MEMS구조물의 대표적인 예로써 근래 10여 년 간 측정장치로서 뛰어난 특성을 인정받아 많은 연구가 수행되고 있다. 마이크로 캔틸레버의 표면에 이종재료를 코팅하여 만든 바이모프형 센서는 매우 높은 측정 민감도(sensitivity)를 얻을 수 있고 소형화가 용이하여 화학, 생물, 기계 측정분야에서 인공코, 인공혀와 같이 정교한 새 세대의 센서로 많이 개발되고 있다. 여기서는 바이모프형 측정장치의 측정방식, 변환이론, 제조기법, 측

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1. 분석자 서문

마이크로 캔틸레버는 MEMS구조물의 대표적인 예로써 근래 10여 년 간 측정장치로서 뛰어난 특성을 인정받아 많은 연구가 수행되고 있다. 마이크로 캔틸레버의 표면에 이종재료를 코팅하여 만든 바이모프형 센서는 매우 높은 측정 민감도(sensitivity)를 얻을 수 있고 소형화가 용이하여 화학, 생물, 기계 측정분야에서 인공코, 인공혀와 같이 정교한 새 세대의 센서로 많이 개발되고 있다. 여기서는 바이모프형 측정장치의 측정방식, 변환이론, 제조기법, 측정에 사용되는 재료 및 주요 적용사례에 대한 개요를 정리하였다. 특히 마이크로 캔틸레버기반 측정기술의 재료설계측면에서 중요한 발견, 최근의 경향, 핵심 문제점, 향후 연구방향에 대해서 서술하였다.

2. 목차

1. 개요
1.1. 연성(soft) 반응물질
1.2. 하이브리드 반응구조

2. 마이크로 캔틸레버형 센서연구의 경향
2.1. 기본적인 작동 및 측정원리
2.2 변환 메커니즘
2.3 감지방법

3. 이중재료 구조의 설계와 제작
3.1 마이크로캔틸레버의 제작
3.2 무기물 코팅
3.3 유기물 코팅

4. 응용분야별 마이크로캔틸레버 센서의 성능
4.1 비냉각식 온도센서
4.2 동적 반응측정센서
4.3 선택적 결합현상 측정
4.4 액체성분분석
4.5 생물학적 거대분자 감지
4.6 세포, 미생물 센서
4.7 화학 증기 감지
4.8 폭발물 감지

5. 여러 개의 마이크로 캔틸레버를 사용한 설계
5.1 마이크로캔틸레버 배열설계
5.2 나노 공진장치
5.3 소리굽쇠형(tuning fork) 구조

6. 결론

Reference



3. 원문정보
Srikanth Singamaneni et al., Bimaterial Microcantilevers as a Hybrid Sensing Platform, advanced materials, 2008년 2월

※ 이 자료의 분석은 삼성전자의 김준형님께서 수고해 주셨습니다.