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NTIS 바로가기大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers. B. B, v.36 no.9 = no.324, 2012년, pp.961 - 964
김현철 (SP 반도체) , 이상헌 (안동대학교 기계설계공학과)
This paper presents a sensing system to measure the deflection of a microcantilever in an atomic force microscope. In general, the optical lever method and interferometry are used for the sensing system; however, their size and cost leaves considerable room for improvement. Therefore, we used an opt...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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마이크로 캔틸레버의 굽힘을 측정하기 위해 선행연구에서 사용한 광학 디스크드라이브의 광픽업헤드의 단점은? | 광픽업헤 드는 광학부품들이 일체형으로 구성되어 컴팩트한 구조의 마이크로 캔틸레버의 굽힘 측정시스템을 가지는 원자현미경 제작이 가능하게 되었다. 그러나 앞서 발표된 두 연구에서 사용된 광픽업헤드는 포토다이오드의 광축과 대물렌즈의 광축이 일직선상에 있는 형태로 측정하고자 하는 시편을 직접적으로 볼 수 없기 때문에, 시편의 초기측정 위치 결정에 있어 부가적인 광학현미경이나 장치가 필요한 단점이 있었다. 따라서 본 연구에서는 광픽업헤드를 이용하여 구조가 컴팩트하며, 동시에 시편의 위치를 직접적으로 확인이 가능한 형태의 굽힘 측정시스템을 제안한다. | |
마이크로 캔틸레버의 굽힘 발생 원인은? | 원자현미경은 시편의 높이정보를 마이크로캔틸 레버의 굽힘 측정을 통해 얻는 방식으로 마이크로 캔틸레버의 굽힘은 시편과의 접촉, 비접촉, 태핑방법에 의해 발생하게 된다. 따라서 마이크로 캔틸레버의 굽힘을 측정하는 기술은 원자현미경 에서 주요핵심 기술이라 할 수 있다. | |
마이크로 캔틸레버 굽힙 측정 방식 중 옵티컬 레버 방식의 단점은? | 굽힘측정에는 주로 옵티컬 레버(optical lever) 방식(1)과 간섭현상에 기초한 방식(2)이 사용되었는데, 전자는 높은 분해능을 얻기 위해서 광경로가 길어 져야하는 단점이 있으며, 후자는 간섭 현상을 일으 키기 위해 마이크로캔틸레버에 추가적인 슬릿의 가공이 필요하거나, 간섭계용 광학 요소의 사용으로 비용이 증가하는 단점이 있다. 특히, 기존의 방식에 서는 마이크로캔틸레버의 교체시마다 레이저, 포토 다이오드 등의 광학요소의 위치 조정이 필요하기 때문에 이를 위한 위치조절기구의 설치로 인해서 원자현미경의 프로프헤드의 부피가 커지고, 구조가 복잡해지는 문제가 있다. |
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