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NTIS 바로가기한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.30 no.6, 2013년, pp.644 - 649
김신형 (서울과학기술대학교 기계시스템디자인공학과) , 송준엽 (서울과학기술대학교 기계시스템디자인공학과) , 이평안 (숭실대학교 기계공학과) , 김보현 (숭실대학교 기계공학과) , 오영탁 (신안산대학교 기계과) , 조영학 (서울과학기술대학교 기계시스템디자인공학과)
Today, there are lots of progresses in the field of lens researches, especially in the microlens fabrication. Unlike normal lenses, microlens has been widely used as a role of improving the performance of photonic devices which increase the optical precision, and also used in the fields of the displ...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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마이크로 렌즈를 제작할 때 사용하는 재료는 무엇이 있는가? | 마이크로 렌즈를 제작할 때 사용하는 재료에는 크게 유리(Glass), 경화 접착물(Resin), 폴리머(Polymer) 등이 있으며, 유리를 사용하여 렌즈를 제작하는 방법에는 직접적으로 CO2 가스 레이저를 사용하여 유리 플레이트 표면에 형성하는 방법,2 유리 웨이퍼의 표면이 초점에 맞춰진 위치를 탄산가스 레이저 빔으로 가열할 때, 표면 장력이 발생하여 마이크로 렌즈를 생성하는 방법3 등이 있다. 이외에도 경화 접착물을 사용한 렌즈 제작에는 대표적으로 잉크젯 기술을 이용하여 폴리머 용액과 UV 경화 접착물을 증착하여 만드는 방법4이 있다. | |
폴리머 렌즈는 어떻게 제작되는가? | 폴리머 렌즈의 경우 포토레지스트(Photoresist)의 thermal reflow 법으로 금속 또는 폴리머 몰드를 만든 후, 사출성형 또는 hot-embossing을 이용하여 렌즈를 제작한다. 이 과정에서 금속 몰드 제작은 제작 공정이 복잡하며, PDMS와 같은 재질의 폴리머 몰드의 경우는 hot-embossing과 같은 공정에는 적합하지 않다. | |
렌즈의 형상에는 영향을 미치지 않으면서 표면의 거칠기를 개선하기 위하여 다양한 솔벤트를 이용하여 표면 연마(Surface polishing)을 수행한 이유는? | 본 연구에서는 폴리머 렌즈를 제작하기 위하여 마이크로 방전가공을 이용하여 니켈 몰드에 마이크로 렌즈 몰드를 만든 후에, PMMA (Poly(methylmethacrylate))와 PC (Polycarbonate)를 사용하여 hotembossing 과정을 통해 마이크로 렌즈 형상을 제작하였다. 이와 같이 제작된 마이크로 렌즈는 니켈 몰드 제작 시 방전 가공으로 인해 생긴 방전흔(Crater)이 폴리머에 그대로 전사되어 표면이 매끄럽지 못하고, 집광 효과가 떨어지는 등 렌즈로서의 특성에 영향을 미치게 된다. 따라서 렌즈의 형상에는 영향을 미치지 않으면서 표면의 거칠기를 개선하기 위하여 다양한 솔벤트를 이용하여 표면 연마(Surface polishing)을 수행하였다. |
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