선택한 단어 수는 입니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
선택한 단어 수는 30입니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
제안 방법
- 획득한 영상을 4개의 대영역 (1~4영역)을 나누고 4개의 영역은 또 다시 세로 방향으로 8개의 영역(1-1~1-8영역)으로 나누어 최대 32개의 검사 영역으로 나누었다. 각 영역으로 나누어 백색광 간섭계의 간섭 무늬의 최대 정점을 찾는 thread를 구성하여 실행이 되도록 알고리즘을 구성하였다.
- 대상물체를 고속으로 검사하기 위해서, 큰 검사 영역을 확보 가능하면서 초당 200 frame/sec의 고속 영상 획득 속도를 가지는 4M 카메라를 선정하였다. 간섭 렌즈는 2.5배에서 20배의 배율을 갖는 Nikon사의 간섭 렌즈를 선택할 수 있도록 광학계를 구성하였다. 기존의 Nikon 간섭 렌즈는 렌즈의 직경이 4M카메라의 CCD 보다 작으므로 카메라 CCD전 영역에 영상이 투영되도록 간섭 렌즈 후단의 광학계를 제작하여 구성하였다.
- 개발된 백색광 간섭계의 측정 정밀도를 시험을 위하여 VLSI에서 제작된 표준 시편을 사용하여 먼저 정밀도를 측정하였다. 표준시편의 사양과 측정부위의 측정 결과를 Fig.
- 5배에서 20배의 배율을 갖는 Nikon사의 간섭 렌즈를 선택할 수 있도록 광학계를 구성하였다. 기존의 Nikon 간섭 렌즈는 렌즈의 직경이 4M카메라의 CCD 보다 작으므로 카메라 CCD전 영역에 영상이 투영되도록 간섭 렌즈 후단의 광학계를 제작하여 구성하였다.
- 반도체 검사를 위하여 백색광 간섭계를 적용하여 검사기를 만드는데 있어서 제일 문제점이 되고 있는 검사 속도를 높이기 위하여 4M 카메라를 이용하여 광학계를 구성하였으며 검사 FOV를 최대화 하였으며, 기존의 문제점인 연산 속도를 높이기 위하여 정점 추출 방법을 개선하였으며, 검사 영역을 나누어 thread를 적용하여 병렬 처리가 가능하도록 구성하여 검사 속도를 높일 수 있었다. 4M의 카메라를 사용하여 200장의 이미지를 처리하는데 있어서 걸리는 시간은 영상획득에 사용된 시간은 1000 msec 이내와 계산 시간에는 1개의 PC를 사용하여 3264 msec의 계산이 걸렸다.
- 반도체 검사용 백색광 간섭계는 빠른 속도로 검사를 요구하므로 검사 영역을 최대화 하며, 영상획득 시간과 영상 처리기간을 최소화 하도록 광학계를 구성하였다. Fig.
- 본 연구에서는 인라인 검사에 적용되는 범프 검사장비에 요구되는 성능인 검사기간 2 sec와 측정화면 3.2 x 2.4 mm를 만족시키기 위해 검사 속도를 높이기 위한 방법으로 기존 검사장비에 적용되었던 VGA급 카메라에서 검사 영역을 넓힌 4M (2320x1726 pixel) 카메라를 적용한 대영역 광학계를 개발하고, 영상획득 속도를 높이기 위한 PZT(Piezo Actuator) 이송 동기화 영상획득 기법과 검사 처리 속도를 높이기 위한 병렬 처리 다중 PC 기법을 적용하였다. 언급된 대영역 광학계와 고속 동기화 영상획득 기법, 병렬처리 다중 PC 기법 등은 기존 VGA급 카메라가 적용된 검사기 보다 약 13배 넓은 영역의 측정 화면을 2 sec 내의 검사시간에 고속 측정함으로써 인라인 검사에 적용되기 위하여 제안되었다.
- 고속 PZT이송의 위치 정확도를 살펴보기 위해서 기존의 Stop-And-Go 방식과 제안된 방법의 위치를 비교하였다. 이때 20 bit의 A/D 변환기를 사용하여 PZT에 부착된 센서의 전압 값을 측정하였다.4 실험 조건은 100 μm를 0.
- 4M 카메라를 이용하여 높이 추출에 사용된 영상은 평균적으로 200개가 되며 800M의 영상 분량이다. 이러한 대용량의 메모리를 한번에 순차적으로 처리하기에는 많은 시간이 걸리므로 검사 영역별로 나누어서 각 영역에 소프트웨어 thread를 할당하여 계산을 하여 전체 영상에 대한 계산 속도를 높일 수 있는 방법을 제안하였다. Fig.
- 4 mm 의 크기의 영상이다. 획득한 영상을 4개의 대영역 (1~4영역)을 나누고 4개의 영역은 또 다시 세로 방향으로 8개의 영역(1-1~1-8영역)으로 나누어 최대 32개의 검사 영역으로 나누었다. 각 영역으로 나누어 백색광 간섭계의 간섭 무늬의 최대 정점을 찾는 thread를 구성하여 실행이 되도록 알고리즘을 구성하였다.
대상 데이터
- 4 실험 조건은 100 μm를 0.5 μm 마다 영상을 획득하였으며, 영상획득 조건에서의 PZT의 위치 값의 일부를 Fig. 9에 나타내었다.
- 대상물체를 고속으로 검사하기 위해서, 큰 검사 영역을 확보 가능하면서 초당 200 frame/sec의 고속 영상 획득 속도를 가지는 4M 카메라를 선정하였다. 간섭 렌즈는 2.
- 004 μm이내 오차로 영상 획득이 되었음을 알 수 있었다. 신뢰성 검사를 위해서는 100번의 비교 실험을 통하여 데이터를 수집하였다. Table 2에 10스텝에 대한 실제 대표 데이터를 나타내었다.
데이터처리
- 고속 PZT이송의 위치 정확도를 살펴보기 위해서 기존의 Stop-And-Go 방식과 제안된 방법의 위치를 비교하였다. 이때 20 bit의 A/D 변환기를 사용하여 PZT에 부착된 센서의 전압 값을 측정하였다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.