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NTIS 바로가기한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.30 no.7, 2013년, pp.702 - 708
고국원 (선문대학교 정보통신공학과) , 심재환 (선문대학교 정보통신공학과) , 김민영 (경북대학교 전자공학부)
The white-light scanning interferometer (WSI) is an effective optical measurement system for high-precision industries (e.g., flat-panel display and electronics packaging manufacturers) and semiconductor manufacturing industries. Its major disadvantages include a slow image-capturing speed for inter...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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백색광 간섭계의 장점은 무엇인가? | 현재 반도체 생산 공정에서 범프(Bump) 검사에 적용하기 위하여 검토하고 있는 검사의 방법으로는 위상천이간섭계, 백색광 간섭계(White-light Scanning Interferometer: WSI), 공초점 측정 방식이 있다. 여러 가지 측정 방법 중 위상천이간섭계 보다 광학의 구성이 간단하고 공초점 측정 방식보다 빠른 검사속도를 장점을 동시에 가지고 있는 백색광 간섭계가 최근 관심 대상이 되고 있다. 반도체 제조 공정에서 공초점 방식을 선호하지만, 포인트 방식으로 인하여 반드시 수평과 수직으로 이동을 해야 하여 검사 속도가 느리므로 현재는 인라인 (In-Line) 검사에 적용하기 어려우며 오프라인(Off- Line) 검사에서 일부 사용되고 있다. | |
현재까지 개발된 공초점 방식의 한계점은 무엇인가? | 공초점 측정 방식도 범프 측정에 있어서 인라인에 적용하기 위하여, 측정화면의 대면적화 및 배열형 핀홀 (Pinhole-array)을 이용한 대규모 병렬화등의 방법을 활용하는 연구들이 활발히 진행되고 있다. 하지만 배열형 핀홀과 렌즈, 수광검출부 간의 어려운 정렬 문제를 내재하고 있어, 이로 인한 광학부의 복잡한 구성이 검사기의 가격상승에 대한 요인으로 작용하고 있어 아직까지는 인라인 검사를 위한 이의 적용이 어렵다. 이에 속도와 검사 정밀도 면에서 대안으로 제시되고 있는 것이 백색광 간섭계를 이용한 3차원 측정 방식이다. | |
현재 범프(Bump) 검사를 위해 고려되는 방법은 무엇인가? | 현재 반도체 생산 공정에서 범프(Bump) 검사에 적용하기 위하여 검토하고 있는 검사의 방법으로는 위상천이간섭계, 백색광 간섭계(White-light Scanning Interferometer: WSI), 공초점 측정 방식이 있다. 여러 가지 측정 방법 중 위상천이간섭계 보다 광학의 구성이 간단하고 공초점 측정 방식보다 빠른 검사속도를 장점을 동시에 가지고 있는 백색광 간섭계가 최근 관심 대상이 되고 있다. |
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