$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Photoresist thermal reflow 방법을 이용하여 제작한 마이크로렌즈 어레이의 형상 관련 오차 및 이에 대한 보정
Shape Error and Its Compensation in the Fabrication of Microlens Array Using Photoresist Thermal Reflow Method 원문보기

마이크로전자 및 패키징 학회지 = Journal of the Microelectronics and Packaging Society, v.20 no.2, 2013년, pp.23 - 28  

김신형 (서울과학기술대학교 기계시스템디자인공학과) ,  홍석관 (한국생산기술연구원 미래융합연구그룹) ,  이강희 (동양미래대학교 로봇자동화공학부) ,  조영학 (서울과학기술대학교 기계시스템디자인공학과)

초록
AI-Helper 아이콘AI-Helper

마이크로렌즈 어레이는 광학 시스템의 기본 부품으로, 사용 목적에 따라 초점거리가 다르게 제작되며, 대체로 긴 초점거리의 렌즈들이 많이 제작되고 있다. 본 논문에서는 졸겔(sol-gel) 내부에 들어있는 형광으로 염색된 물질을 관찰하기 위하여 마이크로렌즈 어레이를 제작하였다. 일반적으로 형광 현미경에서 관찰되는 형광 빛은 그 강도가 약하지만 마이크로렌즈를 이용할 경우 빛을 집중시켜 선명한 관찰이 가능하게 한다. 이를 실현시키기 위해 photoresist thermal reflow법을 사용하여 초점 거리가 짧은 마이크로렌즈를 제작하였으며, 렌즈의 형상 관련 오차를 측정하였다. 측정 오차에 기반을 둔 포토마스크 보정 및 스핀 코팅 조건을 조정하여 적합한 마이크로렌즈의 직경과 형상을 구현하였다.

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Microlens array as basic element of the optical system have been fabricated with various focal length (mainly with long focal length) depending on the purpose of application. In this paper, the microlens arrays were fabricated for observing fluorescent images within sol-gel. Though the fluorescent s...

주제어

AI 본문요약
AI-Helper 아이콘 AI-Helper

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 본 연구에서는 마이크로렌즈 어레이가 짧은 초점 거리를 가지도록 반구 모양으로 설계 및 제작하였으며, 이를 위해 간단한 공정으로 제작이 가능한 photoresist thermal reflow법을 이용하였다. 이때 발생하는 형상 관련 오차를 측정하고 포토마스크(photomask) 보정을 통해 마이크로 렌즈 직경과 스핀 코팅 조건 수정을 통해 적절한 photoresist의 높이를 찾아내었다.

가설 설정

  • Thermal reflow 현상을 이용하여 렌즈를 제작 시, photoresist로 만들어진 실린더의 부피와 thermal reflow 현상으로 모양이 바뀐 반구의 부피가 동일하다는 가정이 필요하다. Fig .
본문요약 정보가 도움이 되었나요?

질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
UV 레진을 이용하는 제작 방법의 단점은 무엇인가? 이 때 UV를 조사해 주면 레진이 굳으면서 실제로 사용이 가능한 렌즈 어레이가 제작된다. 이와 같은 방법은 레진과 레진을 떨어뜨리는 기판에 따라 제작 조건이 까다로우며, 제조 가능한 렌즈의 직경에 최소 한계가 존재한다.
마이크로렌즈 어레이의 제작 방법은 무엇인가? 이와 같은 마이크로렌즈 어레이의 제작 방법으로는 렌즈를 직접적으로 가공하는 방법과 몰드를 가공하여 렌즈를 제작하는 방법으로 나눌 수 있으며, 직접적으로 가공 하는 방법에 대표적인 방법은 UV 레진을 이용하는 방법이다. 이 방법은 피에조 엑츄에이터를 이용하여 잉크젯 프린트법 방식으로 UV 레진을 떨어뜨리면 표면장력 때문에 볼록한 형상을 나타내게 된다.
마이크로렌즈의 응용 분야에는 어떤 것이 있는가? 마이크로렌즈는 광학 시스템의 기본이 되는 부품으로, 다양한 직경의 마이크로렌즈 및 마이크로렌즈 어레이는 재료에 따라 제작 방법이 다양하며, 광 디바이스의 소형화, 고 직접화, 저가격화 추세에 따라 그 필요성과 응용 분야가 급격히 증가하고 있다.1) 주로 광통신 분야, 디스플레이 분야, 광센서 분야 등 다양한 분야에서 응용되고 있으며2), 마이크로 광학 요소들은 광학 통신2), 이미징 시스템3), 공 초점 현미경4) 등에 쓰이고 있으며, 최근에는 생화학 총 분석 시스템(Total analysis systems for biochemical)5,6)에도 쓰이고 있는 등 많은 응용 분야에서 필수적인 구성 요소로 떠오르고 있다. 그만큼 다양한 제작 방법들이 제안되었는데, 레이저 펄스를 이용한 에칭 방법7), photoresist thermal reflow법8), UV 레진(resin)을 이용한 잉크젯 프린트법9) 등으로 제작이 가능하다.
질의응답 정보가 도움이 되었나요?

참고문헌 (10)

  1. S. Mihailov, and S. Lazare, "Fabrication of refractive microlens array by eximer laser ablation of amorphous Teflon," Appl. Opt., 32(31), 6211 (1993). 

  2. F.B. McCormick, F.A.P. Tooley, T.J. Cloonan, J.M. Sasian, H.S. Hinton, K.O. Merseau, and A.Y. Feldlum, "Optical interconnections using microlens arrays," Optical and Quantum Electron, 24(4), S465 (1992). 

  3. R.H. Anderson, "Close-up imaging of documents and displays with lens arrays," Appl. Opt. 18(4), 477 (1979). 

  4. T. Tanaami, S. Otsuki, N. Tomosada, Y. Kosugi, M. Shimizu, and H. Ishida, "High-Speed 1-Frame/ms Scanning Confocal Microscope with a Microlens and Nipkow Disks", Appl. Opt, 41(22), 4704 (2002). 

  5. S. Balslev, A.M. Jorgensen, B. Bilenderg, K.B. Mogensen, D. Snakenbord, O. Geschke, J.P. Kutter, and A. Kristensen, "Lab-on-a-chip with integrated optical transducers," Lab Chip, 6, 213 (2006). 

  6. S. Generelli, R. Jacquemart, N. de Rooij, M. Jolicoeur, M. Koudelka-Hep, and O.T. Guenat, "Potentiometric platform for the quantification of cellular potassium efflux," Lab Chip, 8, 1210 (2008). 

  7. M. Wakaki, Y. Komachi, and G .Kanai, "Microlenses and microlens arrays formed on a glass plate by use of a CO2 laser", Applied Optics, 37(4), 627 (1998). 

  8. T. Miyashita, "Standardization for microlenses and microlens arays," Japanese Journal of Applied Physics, 46(8B), 5391 (2007). 

  9. D. L. MacFarlane, V. Narayan, W. R. Cox, T. Chen, and D. J. Hayes, "Microjet fabrication of microlens array," IEEE Photonics Technology Letter, 6(6), 1112 (1994). 

  10. E. Roy, B. Voisin, J.-F. Gravel, R. Peytavi, D. Boudreau, and T. Veres, "Microlens array fabrication by enhanced thermal reflow process: Towards efficient collection of fluorescence light from microarrays," Microelectronic Engineering, 86, 2255 (2009). 

저자의 다른 논문 :

섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로