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문제 정의
- 본 연구에서는 마이크로 렌즈 어레이의 핫 엠 보싱과 미세 사출성형을 통한 대량 생산을 위해, 니켈 전주 도금 공정을 통해 금형 인서트를 제작 하였다. Fig.
- 본 연구에서는 변형 LIGA 공정을 통해 제작된 마이크로 렌즈의 형성에 대한 예측 모델을 소개 하였다. 예측 모델은 깊은 X-선에 조사된 PMMA 기판이 열처리 과정을 겪는 동안 생성되는 여유 부피와 부피 이완 과정을 고려하여 최종 마이크 로 렌즈 형상을 예측하도록 개발되었다.
- 이에 본 연구에서는, 우선 근본적인 고분자의 물리적 성질에 기반하여 본 연구자들이 개발한 마이크로 렌즈 형성의 예측 모델[8]을 소개한다. 또한 변형 LIGA 공정을 통해 제작된 마이크로 렌 즈 어레이에 전주 도금 공정(electroforming)을 통 해 제작한 니켈 금형 인서트를 소개하는 한편, 제 작된 금형 인서트를 이용하여 핫 엠보싱과 미세 사출성형을 통해 대량 생산한 마이크로 렌즈 어 레이와 함께 성형된 마이크로 렌즈의 특성에 대 한 평가를 소개한다.
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