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NTIS 바로가기韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society, v.23 no.4, 2013년, pp.122 - 125
Perpendicular magnetic anisotropy (PMA) is the phenomenon of magnetic thin film which is preferentially magnetized in a direction perpendicular to the film's plane. Amorphous multilayer with PMA has been studied as the good candidate to realization of high density STT-MRAM (Spin Transfer Torque-Magn...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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수직자기이방성이란 무엇인가? | 수직자기이방성(Perpendicular magnetic anisotropy, PMA)이란 자성 박막의 표면에서 박막의 평면에 수직한 방향으로 자화가 일어나는 현상이다. 수직자기이방성은 1975년 Co/Cr 합금 박막에서 처음 발견되었고, 최근 고집적화 된 자성 기록매체에 대한 관심이 증가하면서 연구가 활발하게 이루어지고 있다. | |
스핀전달토크는 자기적 성질과 관련해 어떤 방식을 갖는가? | 스핀전달토크는 기존의 MRAM과는 달리 외부에서 자장을 걸지 않고 자기터널접합(Magnetic Tunnel Junction, MTJ)에 직접적으로 전류를 흘려 자화 반전을 유도하는 방식을 사용하는데, 최대 관심사는 자화 반전에 필요한 전류를 줄이고 열적 안정성을 높이는 것이다. 이를 위해 자기터널접합의 고정층(pinned layer)으로 낮은 포화자화도(Ms)값을 가지는 비정질 강자성체의 도입을 시도하였다. | |
2인치 크기의 타겟(target)이 6개 장착된 DC 마그네트론 스퍼터링 시스템은 어떻게 구성되어 있는가? | 본 실험에서는 2인치 크기의 타겟(target)이 6개 장착된 DC 마그네트론 스퍼터링 시스템(DC magnetron sputtering system)을 사용하였다. 본 시스템은 시편(sample)을 장착하여 마그네틱 바를 이용해 메인 챔버(Main chamber)로 삽입하는 로드락 챔버(Load-lock chamber)와, 실질적으로 스퍼터링이 이루어지는 메인 챔버로 구성되어 있다. 기판(wafer)은 내부의 모터에 의해 정해진 방향으로 회전하고, 기판 고정대와 동축으로 연결되어 있는 회전 기판을 광센서를 이용하여 증착 하고자 하는 타겟 바로 위에 시편이 위치하도록 하였다. |
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