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NTIS 바로가기반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.13 no.2, 2014년, pp.29 - 35
조찬섭 (경북대학교 산업전자공학부) , 오정화 (삼성전자) , 이병렬 (한국기술교육대학교 메카트로닉스공학부) , 김봉환 (대구가톨릭대학교 전자공학과)
In this study general solar cell production process was complemented, with research on improvement of solar cell efficiency through surface structure and thermal annealing process. Firstly, to form the pyramid structure, the saw damage removal (SDR) processed surface was undergone texturing process ...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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최근 RIE를 이용한 건식 식각 공정에 관한 연구가 많이 진행되는 이유는? | 최근에는 기존의 습식 식각 공정에 벗어난 RIE를 이용한 건식 식각 공정에 관한 연구가 많이 진행되고 있다[5-9]. 플라즈마를 이용하는 건식 식각 공정은 최근 화두로 떠오르는 환경 오염문제에서 습식 식각 공정 보다 자유롭고, 공정의 개연성이 높기 때문에 많은 주목을 받고 있다[6-9]. | |
습식 식각 공정으로 진행되는 텍스쳐링 공정의 문제점은? | 마지막으로 형성된 전극을 고온에서 소성공정으로 에미터와 접촉시켜 일반적인 결정형 실리콘 태양전지를 제작한다[1]. 습식 식각 공정으로 진행되는 텍스쳐링 공정은 기판의 두께가 점차 얇아지고, 기판의 종류가 다양해지고 있는 현재의 태양전지 시장을 충족하기에는 한계에 도달하였다. 최근에는 기존의 습식 식각 공정에 벗어난 RIE를 이용한 건식 식각 공정에 관한 연구가 많이 진행되고 있다[5-9]. | |
일반적인 결정형 실리콘 태양전지에서 태양광의 표면 반사율을 감소시키고, 흡수율을 증가시키는 방법은? | 현재 태양전지 시장의 대부분을 차지하는 결정형 실리콘 태양전지는 이론적인 변환 효율에 도달하기 위한 연구가 진행되고 있다[1,2]. 일반적인 결정형 실리콘 태양전지 제작은 먼저 실리콘 습식 식각 용액으로 기판의 절삭 손상된 부분을 식각한 후 텍스쳐링 공정으로 표면에 요철을 형성하여 입사하는 태양광의 표면 반사율을 감소시키고, 흡수율을 증가시킨다[3,4]. 도핑 공정으로 에미터를 형성하고 반사방지막을 증착한 후, 기판의 전면과 후면에 금속 페이스트를 이용하여 스크린인쇄법으로 전극을 형성한다. |
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