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NTIS 바로가기한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology, v.24 no.1, 2014년, pp.8 - 14
정종열 (한국세라믹기술원 이천분원) , 김상훈 (한국세라믹기술원 이천분원) , 강은태 (국립경상대학교 공과대학 재료공학부 재료공학과) , 김진호 (한국세라믹기술원 이천분원) , 한규성 (한국세라믹기술원 이천분원) , 황광택 (한국세라믹기술원 이천분원) , 조우석 (한국세라믹기술원 이천분원)
In this study, we investigated synthesis and characteristics of gallium oxide (
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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유기물 TFT는 어떤 단점이 있는가? | LTPS TFT 의 경우 100 cm2/Vs의 높은 전하 이동도를 가지는 장점이 있으나, 비정질 실리콘에서 다결정 실리콘으로 결정 상의 변화를 주는 공정으로 인해 제조공정이 복잡해지고 가격 경쟁력이 떨어지며, 대형 기판 적용에 어려움이 많아 소형 디스플레이에만 사용되고 있는 실정이다. 또한 유기물을 이용한 유기물 TFT의 경우 5 cm2/Vs 이상의 전하 이동도가 보고되었지만, 복잡한 제조 공정 및 TFT 로 제조하였을 때 재현성이 부족한 단점이 있다[1-3]. | |
저온 다결정 실리콘 TFT는 무엇을 보완하기 위해 개발되었는가? | TFT(Thin film transistor)는 첨단 디스플레이의 핵심 소자 중 하나로 고해상도, 고속 구동의 디스플레이의 구현을 위해서는 TFT 반도체 소자의 높은 전하이동도가 필수적이라 할 수 있다. 액정 디스플레이에 사용되는 비정질 실리콘(amorphous silicon) TFT의 경우 1 cm2/Vs이하의 낮은 전하이동도로 인하여 대면적 디스플레이에 한계를 보이기 때문에 이러한 비정질 실리콘 TFT의 단점을 보완하기 위해 저온 다결정 실리콘(LTPS, low temperature poly silicon) TFT가 개발되었다. LTPS TFT 의 경우 100 cm2/Vs의 높은 전하 이동도를 가지는 장점이 있으나, 비정질 실리콘에서 다결정 실리콘으로 결정 상의 변화를 주는 공정으로 인해 제조공정이 복잡해지고 가격 경쟁력이 떨어지며, 대형 기판 적용에 어려움이 많아 소형 디스플레이에만 사용되고 있는 실정이다. | |
저온 다결정 실리콘의 문제점은 무엇인가? | 액정 디스플레이에 사용되는 비정질 실리콘(amorphous silicon) TFT의 경우 1 cm2/Vs이하의 낮은 전하이동도로 인하여 대면적 디스플레이에 한계를 보이기 때문에 이러한 비정질 실리콘 TFT의 단점을 보완하기 위해 저온 다결정 실리콘(LTPS, low temperature poly silicon) TFT가 개발되었다. LTPS TFT 의 경우 100 cm2/Vs의 높은 전하 이동도를 가지는 장점이 있으나, 비정질 실리콘에서 다결정 실리콘으로 결정 상의 변화를 주는 공정으로 인해 제조공정이 복잡해지고 가격 경쟁력이 떨어지며, 대형 기판 적용에 어려움이 많아 소형 디스플레이에만 사용되고 있는 실정이다. 또한 유기물을 이용한 유기물 TFT의 경우 5 cm2/Vs 이상의 전하 이동도가 보고되었지만, 복잡한 제조 공정 및 TFT 로 제조하였을 때 재현성이 부족한 단점이 있다[1-3]. |
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