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NTIS 바로가기전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.27 no.4, 2014년, pp.257 - 261
김현수 (가천대학교 전기공학과) , 박용서 (가천대학교 전기공학과) , 장경욱 (가천대학교 전기공학과)
Carbon nanotubes (CNT) has the excellent physical characteristics in the sensor, medicine, manufacturing and energy fields, and it has been studied in those fields for the several years. We fabricated the NOx gas sensors of MOS-FET type using the MWCNT. The fabricated sensor was used to detect the N...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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탄소 나노튜브의 장점은 무엇인가? | 이러한 가스센서의 소형화를 위하여 나노미터 크기의 물질을 이용한 가스센서의 연구가 진행되어 있는데 그 중 카본 나노튜브 (carbon nanotube)를 이용한 센서의 연구가 활발히 진행되어 왔다 [3-5]. 1991년 Iijima에 의해 발견된 탄소 나노튜브는 넓은 표면적, 화학적 안정성, 가스분자와의 뛰어난 흡착성, 소형화, 등의 장점 때문에 가스센서로 많은 연구가 진행되고 있다 [6-8]. | |
NOx가스를 챔버 내에 주입하였을 때 가스센서의 저항 변화가 일어나는 이유는? | 이는 NOx가스를 챔버 내에 주입하면 P-type Si에 성막된 MWCNT가스센서 표면에 NOx 가스 분자가 흡착되어 가스센서의 저항 변화가 일어난다는 것을 알 수 있다. 이러한 변화의 이유는 MWCNT 표면의 공유 결합 사이에 NOx가스의 분자가 흡착하게 되어 전자의 전달 경로가 증가되어 저항이 낮아지는 것으로 생각 된다. 또한, 게이트-소스 전압을 인가함으로써, P-type Si의 채널 폭이 확대되어 드레인-소스 전류의 흐름이 증가되는 것을 확인할 수 있었으며, 이로 인하여 드레인-소스 저항 변화가 큰 것으로 확인되었다. | |
기존의 실용화 되어있는 가스센서의 문제점은? | 가스센서는 저 농도와 고농도 가스 검출을 요구하고 있으며, 낮은 동작 온도, 대량 생산, 소형화 등 조건을 고루 갖추어야 하지만 기존의 반도체식 가스센서, 광 학식 센서 및 전기화학식 가스센서 등 기존의 실용화 되어있는 가스센서는 높은 동작 온도 조건, 높은 가격, 소형화 등의 문제점이 있다 [2]. |
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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