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NTIS 바로가기한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.24 no.7, 2014년, pp.344 - 350
오창섭 (한국과학기술정보연구원) , 한창석 (호서대학교 국방과학기술학과)
Metal films (i.e., Ti, Al and SUH310S) were prepared in a magnetron sputtering apparatus, and their cross-sectional structures were investigated using scanning electron microscopy. The apparatus used consisted of a cylindrical metal target which was electrically grounded, and two anode rings attache...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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직류 2극 스퍼터링 방법이란 무엇인가? | 스퍼터링 방법은 박막제작 기술의 하나로써 널리 이용되고 있다.1-5) 가장 기본적인 직류 2극 스퍼터링 방법은 음극인 타겟과 양극 사이에 직류전압을 인가하여 양 전극 간에 글로우방전을 발생시켜 스퍼터링 하는 방법이다. 양극에는 특정한 구조인 양극을 이용하는 경우와 금속 진공챔버 전체를 양극으로 하는 경우가 있지만, 두 가지 경우 모두 양극은 접지되며, 음극인 타겟에는 (−)전압이 인가된다. | |
특정한 구조인 양극을 쓰는 경우와 금속 진공챔버 전체를 양극으로 하는 경우 둘 다 양극은 접지되고 음극에는 (-)전압이 인가되게 하는 이유는? | 양극에는 특정한 구조인 양극을 이용하는 경우와 금속 진공챔버 전체를 양극으로 하는 경우가 있지만, 두 가지 경우 모두 양극은 접지되며, 음극인 타겟에는 (−)전압이 인가된다. 이와 같은 이유는 글로우방전에 의해 생성된 (+)이온이 타겟을 충격하여 챔버 벽 등에는 충격되지 않게 하기 위해서이다. 이 점에 대해서는 다른 스퍼터장치도 마찬가지이다. | |
양극 인가방식이 바이어스용 전원을 사용하지 않고 바이어스 스퍼터링 방법과 같은 효과를 얻을 수 있는 이유는? | 6) 즉, 양극을 접지하는 방법에 비해서 음극을 접지하고 양극에 (+)전압을 인가하여 스퍼터링 하는 방법(이하, 양극 인가방식)을 용이하게 적용시킬 수 있다.7) 양극 인가방식은 기판을 접지시킨 경우 타겟과 기판이 거의 같은 전위가 되고, 기판표면이 이온충격을 받기 때문에 바이어스용 전원을 사용하지 않고 바이어스 스퍼터링 방법과 동일한 효과를 얻을 수 있다. 원통형 마그네트론 스퍼터장치는 원통형 타겟의 중심축 위에 가는 봉 또는 선 등을 설치하여 표면코팅을 연속적으로 할 수 있는 특징이 있다. |
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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