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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)에스엔텍 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-07 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500016852 |
과제고유번호 | 1425072740 |
사업명 | 기술혁신개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-10-24 |
키워드 | 태양전지.투명전극.대향타겟.스퍼터 캐소드.저손상. |
□ 개발목표
계획
◦ 2세대(370mm×470mm)급 태양전지의 TCO 증착용 원통형 대향 타겟 스퍼터링 캐소드 개발 및 기초 평가
◦ 5세대(1,100mm×1,400mm)급 태양 전지의 TCO 증착용 대면적 원통형 대향타겟 스퍼터링 캐소드 설계 및 제작
◦ 5세대(1,100mm×1,400mm)급 태양 전지의 저가화를 위한 TCO 증착용 대면적 고효율 원통형 대향타겟 스퍼터링 캐소드 모듈 개발
◦ 태양전지 TCO 증착용 대면적 저손상 원통형 대향타겟 스퍼터링 공정 개발
실적
◦ 2세대급 태양전지
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