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NTIS 바로가기Journal of the Institute of Electronics and Information Engineers = 전자공학회논문지, v.51 no.8, 2014년, pp.195 - 201
구자일 (인하공업전문대학 디지털전자과) , 전성호 ((주)테크라인)
In this paper, we developed a LGP(Light Guide Panel) dry cleaning system for particle cleaning using corona discharge and dry adhesive roll. Therefore, we design a cleaning mechanism that can be applied dry adhesive dust removal roll and ESD(electrostatic discharge) by using corona discharge. Also, ...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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기존의 건식 세정 장치의 문제점은? | 또한 기존의 건식 세정 장치는 고압의 공기를 기판(LGP 포함)에 분사하여 기판을 세정하는 장치이다. 따라서 플라스틱과 같은 투명한 합성수지로 제작되는 LGP의 경우, 정전기에 의해 이물질이 LGP에 달라붙기 때문에 단순히 고압의 공기를 분사하는 것에 의해서는 LGP 표면의 이물질을 완전히 제거시킬 수 없다는 문제점이 있다. | |
LGP란? | LGP는 그림 1과 같이 LCD 패널의 BLU(Back Light Unit)에 포함되는 부품으로, 광의 경로가 전면으로 향하게 하는 BLU에서 가장 핵심이 되는 부품이다. LGP 제조 방법은 크게 캐스팅(Casting), 압출, 사출이 있으며, 일반적인 생산 방식은 압출을 통한 생산 방식이다. | |
세정장치에 의해 이루어지는 세정 공정의 목적은? | LGP와 같은 기판을 제조하는 공정에서는 소정의 표면 처리가 완료된 기판으로부터 각종 유기성 또는 무기성 오염 물질을 제거하는 세정 공정이 반드시 요구된다. 세정 장치에 의해 이루어지는 세정 공정은 메인 공정에 투입되기 전이나 메인 공정 중의 기판 표면으로부터 각종 오염물질을 제거함으로써, 제품의 불량이 발생하지 않도록 하는 것을 목적으로 한다. |
Ja_Yl Ku, JongHo Lee, SungHun Eun, "Development of blower-ventilated machine to eliminate electrostatic particle", IEEK Summer Conference, Vol. 30, No.1, pp.447-448, 2007.
권현호, "LED 백라이트용 도광판 건식 세정장비 개발", 산업자원부 산업집적지경쟁력강화사업 결과보고서,, 2012.
Leonard Loeb, "Electrical Coronas Their Basic Physical Mechanisms", University of California Press, 1965.
成澤 鴻, "ショ?ト破?の原因となるコロナ放電を知る", トラブル?策, 2012.
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