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NTIS 바로가기한국표면공학회지 = Journal of the Korean institute of surface engineering, v.48 no.6, 2015년, pp.292 - 296
김동렬 (부산대학교 재료공학부) , 배지환 (부산대학교 재료공학부) , 황동현 (신라대학교 신소재공학과) , 손영국 (부산대학교 재료공학부)
Indium tin zinc oxide (ITZO) thin films were deposited on glass and quartz substrates by RF magnetron sputtering. The substrate temperature varied from
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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TCO 박막 재료들의 유용성은 무엇인가? | 이에 따라 디스플레이 소자에 사용되는 투명 전도성 산화물(TCO; Transparent Conducting Oxide) 과 디스플레이의 기술인 산화물 박막 트랜 지스터(oxide thin film transistor)에 대한 연구와 필요성이 점점 중요해지고 있다4-5). 이와 같은 TCO 박막 재료들의 유용성은 가시광선 영역(400 ~ 800 nm) 에서 80% 이상의 광투과도를 가지며, 높은 전기전도도 103(Ω·cm)−1 이상을 가져야 한다. 이러한 광학적, 전기적 특성에 의존하기 때문에 안정성과 주어진 소자의 기판과 응용에 적절하게 요구되는 요소와 함께 고려되어야 한다. | |
ITO는 어디에 많이 사용되는가? | 현재 이러한 특성을 가진 ITO (Indium Tin Oxide) 가 투명 전도 산화물로 많이 사용된다7). 하지만 In 은 희귀 원소로 고갈에 의한 공급의 한계에 의한 가격상승과 수용성 In의 인체의 유해성 등 환경적인 문제 때문에 ITO의 대체 재료 개발이 필요한 상황이다8-9). | |
TCO 박막 재료에 요구되는 요소는? | 이와 같은 TCO 박막 재료들의 유용성은 가시광선 영역(400 ~ 800 nm) 에서 80% 이상의 광투과도를 가지며, 높은 전기전도도 103(Ω·cm)−1 이상을 가져야 한다. 이러한 광학적, 전기적 특성에 의존하기 때문에 안정성과 주어진 소자의 기판과 응용에 적절하게 요구되는 요소와 함께 고려되어야 한다. 이러한 조건을 만족하기 위해 밴드갭 (band gap)이 3. |
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