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유연 기판을 이용한 PLC소자 제작을 위한 롤투롤 공정 연구
PLC Devices Fabricated on Flexible Plastic Substrate by Roll-to-Roll Imprint Lithography 원문보기

마이크로전자 및 패키징 학회지 = Journal of the Microelectronics and Packaging Society, v.22 no.4, 2015년, pp.25 - 29  

강호주 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과) ,  김태훈 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과) ,  정명영 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과)

초록
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저가격, 높은 생산성, 고해상도를 가지는 소자의 패턴 제작 방법에 대한 요구가 계속적으로 증가하고 있다. 롤투롤 연속생산 공정은 저비용, 대량생산이 가능한 차세대 공정으로 각광받고 있다. 본 논문에서는 PLC (planar lightwave circuit) 소자의 제작을 위해서 롤투롤 공정을 이용하여 제조하는 방법을 연구하였다. 제안한 기술은 polydimethylsiloxane (PDMS) 고분자를 이용하여 롤투롤 공정을 통해 PLC소자를 제작하는 공정을 연구하였다. 실리콘 웨이퍼에 형성된 마이크로 패턴을 복제 공정을 수행하였으며 이를 원통금형에 적용하여 롤투롤 공정의 롤 몰드(roll mold)로 사용하였다. 웹 텐션과 웹 속도의 공정 조건 최적화로 롤투롤 공정을 이용하여 PLC소자를 제작하였다. 제작된 PLC소자는 약4.0dB의 삽입손실을 가지는 $1{\times}2$ 광분배기이며, 제안한 롤투롤 공정 기술을 이용한 PLC소자의 제작 공정이 대량연속생산에 유효함을 확인하였다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

Demand for a low-cost, high-throughput, and high-resolution patterning method for fabricating devices continues to increase. The roll-to-roll (R2R) imprint lithography technique has received a great deal of attention as a means of fabricating next-generation devices. In this paper, we propose a fabr...

주제어

#Planar lightwave circuit   #Polymeric roll mold   #R2R process   #Roll-to-Roll imprint lithography   #Optical interconnection  

AI 본문요약
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문제 정의

  • 따라서 본 연구에서는 롤투롤 임프린트 리소그래피 방법을 이용하여 패턴에 영향을 미치는 인자인 웹 속도(web speed)와 웹 텐션(web tension)에 대한 분석을 통해 높은 정밀도를 가지는 광학소자를 제조하는 방법을 제시하고 광학소자의 특성 측정을 통해 성능을 확인하였다.
  • 본 논문에서는 폴리머 기반의 PLC 소자를 롤투롤 공정에 의해 제작이 가능하도록 공정인자의 조건을 검토하였으며, 제작된 PLC 소자의 광학적 특성을 평가 하였다. 포토리소그래피 공정을 이용하여 패턴된 Si 스탬프를 제작하고, 이를 이용하여 대면적 배열 복제 공정을 통해서 PDMS 몰드를 제작하였다.
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참고문헌 (13)

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  13. Y. Martz and D. Knittel, "Robust control in industrial roll-toroll systems: New approaches using finite element modeling of the web", Industrial Technology (ICIT), 2015 IEEE International Conference on, pp. 464 (2015). 

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