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NTIS 바로가기열처리공학회지 = Journal of the Korean society for heat treatment, v.28 no.6, 2015년, pp.310 - 314
문현주 (울산대학교 첨단소재공학부) , 전재현 (동국실업주식회사) , 송영환 (울산대학교 첨단소재공학부) , 오정현 (울산대학교 첨단소재공학부) , 공태경 (울산대학교 첨단소재공학부) , 최동혁 (동국실업주식회사) , 손동일 (동국실업주식회사) , 김대일 (울산대학교 첨단소재공학부)
We have considered the influence of electron irradiation on the optical and electrical properties of
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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산화인듐박막의 특징은? | 산화인듐(In2O3) 박막은 높은 가시광 투과도와 낮은 전기비저항을 동시에 갖는 투명전극재(Transparent Conducting Oxide; TCO)로서 박막형 태양전지(Solar cell) 및 다양한 디스플레이 소자의 전극재로 활용되고 있다[1]. 최근에는 유연성을 갖는 표시소자에 다양한 TCO 박막을 적용하기 위하여 유리기판 대신 Poly Carbonate(PC), Poly Ethylene Terephthalate(PET) 그리고 Poly Ether Sulfon(PES)기판을 이용한 투명전극 증착에 대한 연구가 보고되고 있다[2-4]. | |
투명전극재박막을 적용하기 위해 최근에는 유리기판 대신 무엇을 사용하고 있는가? | 산화인듐(In2O3) 박막은 높은 가시광 투과도와 낮은 전기비저항을 동시에 갖는 투명전극재(Transparent Conducting Oxide; TCO)로서 박막형 태양전지(Solar cell) 및 다양한 디스플레이 소자의 전극재로 활용되고 있다[1]. 최근에는 유연성을 갖는 표시소자에 다양한 TCO 박막을 적용하기 위하여 유리기판 대신 Poly Carbonate(PC), Poly Ethylene Terephthalate(PET) 그리고 Poly Ether Sulfon(PES)기판을 이용한 투명전극 증착에 대한 연구가 보고되고 있다[2-4]. 그러나 PC, PET, PES 등의 고분자 기판을 사용한 TCO 증착은 열처리 온도에 제약을 받기 때문에 박막의 전기적, 광학적 물성을 개선시키는 방법으로 TCO/metal[2], TCO/Oxide[5], TCO/ Metal/TCO[6] 등의 적층형태의 증착기술이 연구되고 있으며, 전자빔(Electron Irradiation) 표면조사를 이용한 표면개질 기술 또한 제시되고 있다[7]. | |
산화인듐박막은 어디에 활용되고 있는가? | 산화인듐(In2O3) 박막은 높은 가시광 투과도와 낮은 전기비저항을 동시에 갖는 투명전극재(Transparent Conducting Oxide; TCO)로서 박막형 태양전지(Solar cell) 및 다양한 디스플레이 소자의 전극재로 활용되고 있다[1]. 최근에는 유연성을 갖는 표시소자에 다양한 TCO 박막을 적용하기 위하여 유리기판 대신 Poly Carbonate(PC), Poly Ethylene Terephthalate(PET) 그리고 Poly Ether Sulfon(PES)기판을 이용한 투명전극 증착에 대한 연구가 보고되고 있다[2-4]. |
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