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진공 이야기 = Vacuum magazine, v.2 no.3, 2015년, pp.11 - 15
강상우 (한국표준과학연구원, UST 차세대소자공학과) , 김태성 (성균관대학교 기계공학부)
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Particle characteristics diagnosis system (PCDS) was developed to measure submicron particle characteristics by modulation of particle beam mass spectrometry (PBMS) with scanning electron microscopy (SEM) and energy dispersive x-ray spectroscopy (EDS). It is possible to measure the particle size dis...
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| 핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
|---|---|---|
| 고성능 반도체 및 고화질 디스플레이의 수요 증가에 따라, 메모리 칩의 경우 구체적으로 어떤 집적도 향상이 이루어졌는가? | 스마트폰 시장의 급격한 성장에 힘입어 고성능 반도체 및 고화질 디스플레이의 수요 또한 급격히 증가하게 되었다. 이러한 수요에 힘입어 메모리 및 칩의 경우 20 nm 이내의 선 폭을 갖게 되고 디스플레이의 경우에는 기존보다 4배 향상된 ultra-high definition (UHD) 해상도에 이르는 상용 제품이 출시되는 등 제품의 집적도가 크게 향상되었다. 의도하지 않은 방향으로 공정에 유입되는 오염입자는 제품 불량을 유발하여 공정 수율에 영향을 미치게 되는데, 고성능 부품 수요에 의한 공정 집적도 향상은 나노급 오염입자가 수율에 끼치는 영향을 더 높이는 계기가 되었다 [1]. | |
| 스마트폰 시장의 급격한 성장에 힘입어 증가한 분야는? | 스마트폰 시장의 급격한 성장에 힘입어 고성능 반도체 및 고화질 디스플레이의 수요 또한 급격히 증가하게 되었다. 이러한 수요에 힘입어 메모리 및 칩의 경우 20 nm 이내의 선 폭을 갖게 되고 디스플레이의 경우에는 기존보다 4배 향상된 ultra-high definition (UHD) 해상도에 이르는 상용 제품이 출시되는 등 제품의 집적도가 크게 향상되었다. | |
| PBMS는 어떤 특성을 가진 요소를 포함하는가? | PBMS는 이름에서도 나타나 있듯이 공기역학적 흐름을 통해 입자를 집속하여 입자가 축 중앙으로 모여있는 형태의 입자 빔을 생성할 수 있는 입자 집속렌즈를 포함한다. 렌즈의 구성요소인 오리피스의 구경 조절을 통해 입자 빔 확산 정도를 제어할 수 있으며, 이에 따라 측정부까지 이동하는 입자의 손실을 최소화 할 수 있고 [7], 챔버압력 또한 1. |
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T. Kim, Ph. D. Thesis, University of Minnesota (2002).
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