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NTIS 바로가기한국진공학회 2013년도 제 45회 하계 정기학술대회 초록집, 2013 Aug. 21, 2013년, pp.196.1 - 196.1
김태랑 (삼성전자) , 방진영 (삼성전자) , 강태균 (삼성전자) , 최창원 (삼성전자) , 윤태양 (삼성전자)
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