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NTIS 바로가기진공 이야기 = Vacuum magazine, v.2 no.4, 2015년, pp.16 - 26
김재호 (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST))
Carbon nanomaterials including nanocrystalline diamond and graphene films are expected to play a core role in
핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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SWP의 방전 특성을 공간적으로 두 영역으로 나눈 것은 무엇인가? | SWP의 방전 특성은 공간적으로 두 영역으로 나누어 설명할 수 있다. 즉, (1)유전체창 근방의 surface wave-excited plasma(이하 SW-excited plasma) 영역과 (2)프로세스를 실행하는 bulk plasma 영역이다. SW-excited plasma 영역에서는 표면파 전계에 의해 전자들이 강하게 가열되기 때문에 높은 전자온도(10 eV이상)를 가진다. | |
표면파의 특성은? | SWP는 플라즈마와 유전체창의 경계면에서 형성되고 전파하는 표면파에 의해 발생·유지된다. 표면파는 플라즈마와유전체창 경계면에 전자파 에너지를 집중시키고, 그 경계면을 따라 전파하는 특성을 가지고 있다. SWP는 외부자장 인가없이 cut-off 밀도 (2. | |
대표적인 카본 나노 재료로 어떤 것이 있는가? | 즉 다양한 재료로 존재할 수 있게 된다. 대표적인 카본 나노 재료로 카본 나노튜브(carbon nanotube: CNT), 풀러렌(fulleren), 카본 나노월(carbon nanowall: CNW), 카본나노오니온(carbon nano-onion: CNO), 카본 나노리본(carbon nanoribbon: CNR), 나노크리스탈 다이아몬드(nanocrystalline diamond: NCD), 그래핀( graphene)등이 있다. |
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