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카본 나노재료 합성을 위한 표면파 플라즈마 CVD 기술
Surface wave excited plasma CVD technologies for the synthesis of carbon nanomaterials 원문보기

진공 이야기 = Vacuum magazine, v.2 no.4, 2015년, pp.16 - 26  

김재호 (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST))

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

Carbon nanomaterials including nanocrystalline diamond and graphene films are expected to play a core role in $21^{st}$ century industries due to their amazing physicochemical properties. To achieve their practical utilization and industrialization, the development of their mass productio...

질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
SWP의 방전 특성을 공간적으로 두 영역으로 나눈 것은 무엇인가? SWP의 방전 특성은 공간적으로 두 영역으로 나누어 설명할 수 있다. 즉, (1)유전체창 근방의 surface wave-excited plasma(이하 SW-excited plasma) 영역과 (2)프로세스를 실행하는 bulk plasma 영역이다. SW-excited plasma 영역에서는 표면파 전계에 의해 전자들이 강하게 가열되기 때문에 높은 전자온도(10 eV이상)를 가진다.
표면파의 특성은? SWP는 플라즈마와 유전체창의 경계면에서 형성되고 전파하는 표면파에 의해 발생·유지된다. 표면파는 플라즈마와유전체창 경계면에 전자파 에너지를 집중시키고, 그 경계면을 따라 전파하는 특성을 가지고 있다. SWP는 외부자장 인가없이 cut-off 밀도 (2.
대표적인 카본 나노 재료로 어떤 것이 있는가? 즉 다양한 재료로 존재할 수 있게 된다. 대표적인 카본 나노 재료로 카본 나노튜브(carbon nanotube: CNT), 풀러렌(fulleren), 카본 나노월(carbon nanowall: CNW), 카본나노오니온(carbon nano-onion: CNO), 카본 나노리본(carbon nanoribbon: CNR), 나노크리스탈 다이아몬드(nanocrystalline diamond: NCD), 그래핀( graphene)등이 있다.
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참고문헌 (10)

  1. J. Kim, T. Itagaki, M. Katsurai, Electrical Engineering in Japan, 145 (2), 10 (2003). 

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  2. J. Kim and M. Katsurai, J. Appl. Phys., 101, 023301 (2007). 

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  3. J. Kim, K. Tsugawa, M. Ishihara, Y. Koga, M. Hasegawa, Plasma Sources Sci. Technol. 19, 015003 (2010). 

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  4. J. Kim, M. Ishihara, Y. Koga, K. Tsugawa, M. Hasegawa, S. Iijima, Appl. Phys. Lett. 98, 091502 (2011). 

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  5. J. Kim, H. Ohsaki, and M. Katsurai, IEEE Trans. Plasma Sci., 43, 480 (2015). 

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  6. W. P. Allis, S. J. Buchsbaum, and A. Bers, "Waves in anisotropic plasmas", MIT Press, Cambridege, Massachusetts (1963). 

  7. M. Moisan, C. Beaudry, and P. Leprince, Phys. Lett. 50A, 125 (1974). 

  8. K. Komachi and S. Kobayashi, J. Microwave Power and Electromagnetic Energy, 24, 140 (1989). 

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  9. Y. M. Aliev, H. Schluter, and A. Shivarova, "Guided-wave-produced plasmas", Springer-Verlag (2000). 

  10. K. Tsugawa, M. Ishihara, J. Kim, Y. Koga, M. Hasegawa, Physical Review B, 82, 125460 (2010). 

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