$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

압전 미세 외팔보 형 수중 음향 벡터센서의 작동 원리와 설계 기법
Modeling of Sound-structure Interactions for Designing a Piezoelectric Micro-Cantilever Acoustic Vector Sensor 원문보기

한국음향학회지= The journal of the acoustical society of Korea, v.34 no.2, 2015년, pp.108 - 116  

양성관 (포항공과대학교) ,  김준수 (포항공과대학교) ,  문원규 (포항공과대학교)

초록
AI-Helper 아이콘AI-Helper

수중 음향 벡터센서는 음압 뿐 아니라 음파의 진행 방향에 관한 정보를 측정할 수 있는 센서이다. 본 논문에서는 미세 외팔보를 이용한 수중 음향 벡터 센서를 구현하기 위해 음향학적 이론을 바탕으로 음향과 기계 구조물의 상호작용을 이론적으로 정립하고자 하였다. 감응 방식으로 압전 효과를 이용한 두 가지 유니모프(unimorph)형태의 모델을 제시하였으며, 제시된 모델에 대하여 압전 미세 외팔보의 거동을 집중 질량 모델을 통해 음파가 임의의 주파수와 각도를 가지고 미세 외팔보로 입사할 때 나오는 신호의 크기를 구할 수 있는 전달함수를 유도하였다. 또한 이를 바탕으로 매우 얇고 유연한 구조물로 미세 외팔보를 설계하면 매질의 입자 속도에 관한 정보를 직접적으로 측정 가능한 센서로 활용할 수 있다는 것을 확인하였다.

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

An acoustic vector sensor is a device that is capable of measuring the direction of wave propagation and the acoustic pressure. In this paper, the modeling of micro-cantilever sensor for the vector sensor are proposed by consideration of acoustic phenomenon in water. Two models based on unimorph str...

주제어

AI 본문요약
AI-Helper 아이콘 AI-Helper

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 이를 위해 압전 미세 외팔보 구조물과 수중 음향의 상호작용을 고려한 모델링을 다루고 있으며 제시된 두 가지의 압전 미세 외팔보 구조에 대하여 디자인 파라미터의 제시와 이에 따른 응답특성을 유도하였다. 다음에서는 앞서 정립된 해석 기법을 토대로 수중 음향 벡터센서로 활용하기 위한 설계기법에 대해서 논의하고자 한다.
  • 본 논문에서 추구하는 압전 미세외팔보는 저주파수 대역에서 그 활용을 목적으로 하고 있다. 따라서 Fig.
  • 본 논문에서는 압전 미세 외팔보 구조물을 이용하여 수중 음향 벡터센서가 구현 가능한지를 알아보고자하였다. 이를 위해 압전 미세 외팔보 구조물과 수중 음향의 상호작용을 고려한 모델링을 다루고 있으며 제시된 두 가지의 압전 미세 외팔보 구조에 대하여 디자인 파라미터의 제시와 이에 따른 응답특성을 유도하였다.
  • 본 논문에서는 음압에 반응하는 압전 미세 외팔보의 변형에서 이루어지는 에너지 변환의 물리적 모델을 유도하고 이 모델에 입각하여 음향 벡터 센서로 사용가능한 미세 외팔보의 형태와 크기에 대한 조건을 알아보고자 하였다. 외팔보란 한 쪽 끝은 고정되고 다른 쪽 끝은 자유로운 보를 말한다.
  • 본 논문에서는 음파에서 기계적 구조물의 변형으로 변환되는 에너지 변환의 물리적 모델을 이론적으로 제시하고 이 모델에 입각하여 수중 음향 벡터센서로 사용가능한 미세 외팔보의 조건을 제시하였다. 초소형 기전기술을 통해 제작 가능한 미세 외팔보 구조물을 가능한 얇고 유연하게 제작하면, 음파의 진행에 영향을 적게 미치며, 이는 미세 구조물의 변위가 음향에 의한 매질 입자의 변위와 거의 같게 된다는 것을 의미한다.
  • 본 논문에서는 이러한 연구의 일환으로 저주파수 대역의 우수한 특성, 소형화 및 초경량화의 실현을 기대할 수 있는 감응 센서로서 압전 미세 외팔보를 이용하는 방식을 제안하였고 이를 이론적으로 모델링 하는 방법에 대해 논의하였다. 미세 외팔보를 음향 센서로 이용하는 개념은 인간을 포한한 동물의 귀의 감응 구조에서 그 근원을 찾을 수 있다.
  • 본 연구에서는 수중 음향 벡터센서로 미세 외팔보를 활용하기 위해서 매질의 입자속도에 반응하고 이를 측정할 수 있는 시스템을 설계하고자 하였다. 이를 위해서 미세 외팔보와 매질과의 음향학적 관계를 바탕으로 음파에서 기계 구조물의 변형으로 변환되는 에너지 변환의 물리적 모델을 통해 매질의 입자 속도와 미세 외팔보의 처짐 속도가 동일해지기 위한 설계 조건을 규명하고 이를 설계 시 활용하고자 하였다.
  • 본 연구에서는 수중 음향 벡터센서로 미세 외팔보를 활용하기 위해서 매질의 입자속도에 반응하고 이를 측정할 수 있는 시스템을 설계하고자 하였다. 이를 위해서 미세 외팔보와 매질과의 음향학적 관계를 바탕으로 음파에서 기계 구조물의 변형으로 변환되는 에너지 변환의 물리적 모델을 통해 매질의 입자 속도와 미세 외팔보의 처짐 속도가 동일해지기 위한 설계 조건을 규명하고 이를 설계 시 활용하고자 하였다. 이를 위해서 Fig.

가설 설정

  • 1에서 나타낸 바와 같이 두 매질 사이에 존재하는 유한한 두께를 갖는 매질에 대해서 첫 번째 매질에서 세 번째 매질로의 투과 계수 T에 대해서 중간층의 두께가 얇아질 때의 거동을 살펴보았다. ki를 매질 i에서의 파수, Zj를 매질 j의 특성 임피던스, l을 두 번째 매질의 두께라 하고 두 번째 매질을 미세외팔보라 가정하자. 미세외팔보의 두께가 매우 작다면(k2l≪1), cosk2l≈1 sink2l≈k2l가 성립하고, 첫 번째 매질에서 세 번째 매질로의 압력 투과계수 T는,
  • 조화 진동(harmonic oscillation) 형태의 음파가 외팔보를 가진 시키면, 외팔보 끝단에서의 처짐은 조화진동이라 가정할 수 있다. 이를 각각 pi =P0ejωt, x =X0ejωt라 하고 ωr = # 이라 하자.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?

질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
수중 음향 벡터센서란 무엇인가? 수중 음향 벡터센서는 음압 뿐 아니라 음파의 진행 방향에 관한 정보를 측정할 수 있는 센서이다. 본 논문에서는 미세 외팔보를 이용한 수중 음향 벡터 센서를 구현하기 위해 음향학적 이론을 바탕으로 음향과 기계 구조물의 상호작용을 이론적으로 정립하고자 하였다.
미세 외팔보를 음향 센서로 이용하는 근원적 개념은 무엇인가? 미세 외팔보를 음향 센서로 이용하는 개념은 인간을 포한한 동물의 귀의 감응 구조에서 그 근원을 찾을 수 있다. 유체 안에서 섬모는 유체 유동에 따라 힘을 받게 되는데, 음향파도 유체의 유동을 야기하므로 섬모형 물체는 힘을 받게 된다. 물론 음향에 의한 유체 유동은 매우 미세하고 빠르게 변화하므로 반응성이 빠르고 미세한 유동에도 반응하는 미세 섬모만이 음파에 의한 음향 벡터 센서로 사용될 수 있을 것이다.
수중에서 음향 신호의 방향성을 감지하는 방법은 무엇이 있는가? 이러한 스칼라 센서는 방향성을 감지할 수 없는데[1] 이에 반해 수중 음향 벡터 센서는 방향에 따른 음압의 크기를 바탕으로 방향 특성을 측정할 수 있다.[2] 일반적으로 수중에서 음원으로부터 전달되는 음향 신호의 방향성을 감지하기 위해서는 하이드로폰 배열을 통해 방향에 따른 감도 변화를 이용하는 방법, 가속도를 직접 측정하는 방법, 그리고 음향의 입자속도 성분을 측정하는 방법이 있다. 그러나 기존의 이러한 수중 음향센서는 저주파수 대역에서의 낮은 민감도, 소형화 및 경량화에 대한 기술적 한계를 지니고 있다.
질의응답 정보가 도움이 되었나요?

참고문헌 (12)

  1. C. H. Sherman and J. L. Butler, Transducers and Arrays for Underwater Sound, (Springer, New York, 2007), pp. 176. 

  2. S. J. Choi, H. S. Lee, and W. K. Moon, "A micro-machined piezoelectric hydrophone with hydrostatically balanced air backing," Sens. Actuators. A. Phys. 158, 60-71(2010). 

  3. S. J. Choi, H. S. Lee, and W. K. Moon, "A micro-machined piezoelectric hydrophone with hydrostatically balanced air backing," Sensors and Actuators A: Physical 158, 60-71 (2010). 

  4. H. E. de Bree, "The microflown:an acoustic particle velocity sensor," Acoust. Aust. 31, 91-94(2003). 

  5. C. Xue, S. Chena, W. Zhang, and B. Zhang, "Design, fabrication, and preliminary characterization of a novel mems bionic vector hydrophone," Microelectronics J. 38, 1021-1026 (2007). 

  6. B. Zhang, H. Qiao, S. Chen, W. Zhang, and C. Xue, "Modeling and characterization of a micromachined artificial hair cell vector hydrophone," Microsyst. Technol. 14, 821-828 (2008). 

  7. L. Guan, G. Zhang, J. Xu, C. Xue, W. Zhang, and J. Xiong, "Design of t-shape vector hydrophone based on mems," Sens. Actuators. A. Phys. 188, 35-40 (2012). 

  8. J. M. Gere and B. J. Goodno, Mechanics of Materials (CENGAGE Learning, Toronto, 2009), pp. 307. 

  9. D. T. Blackstock, Fundamentals of Physical Acoustics (John WILEY & Sons, New Jersey, 2000), pp. 164. 

  10. J. Lu, T. Ikehara, Y. Zhang, T. Mihara, T. Itoh, and R. Maeda, "High quality factor silicon cantilever driven by pzt actuator for resonant based mass detection", Procs. of the symposium on DTIP of MEMS/MOEMS, 60-65 (2008). 

  11. L. E. Kinsler, A. R. Frey, A. B. Coppens and J. V. Sanders, Fundmentals of Acoustics (John Wiley and Sons, New Jersey, 1999), pp. 11-12. 

  12. J. K. Park and W. K. Moon, "Constituitive relations for piezoelectric benders under various boundary conditions," Sens. Actuators. A. Phys. 117, 159-167 (2005). 

저자의 다른 논문 :

관련 콘텐츠

오픈액세스(OA) 유형

GOLD

오픈액세스 학술지에 출판된 논문

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로