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NTIS 바로가기한국표면공학회지 = Journal of the Korean institute of surface engineering, v.48 no.2, 2015년, pp.43 - 49
안은솔 (한국생산기술연구원) , 허성보 (한국생산기술연구원) , 김규식 (한국생산기술연구원) , 정우창 (한국생산기술연구원) , 박용호 (부산대학교 재료공학부) , 박인욱 (한국생산기술연구원)
This study reports a fabrication of
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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티타늄 산화물은 어떤 특성을 갖는가? | 티타늄 산화물(TiO2)은 천이금속 산화물로 우수한 물리적, 화학적 안정성을 가지고 있다. 따라서 태양전지, 가스센서 등 광범위한 분야에 중요한 물질로 사용되고 있으며 특히 중요한 생체적합성 보호박막 소재로 인식되고 있다1). | |
TiO2의 결정학적 구조는? | 따라서 태양전지, 가스센서 등 광범위한 분야에 중요한 물질로 사용되고 있으며 특히 중요한 생체적합성 보호박막 소재로 인식되고 있다1). TiO2는 rutile (tetragonal), anatase (tetragonal) 및 brookite (orthorhombic)의 3가지 결정학적 구조를 가지며 rutile 타입의 TiO2, TiO2-x는 우수한 밀도 및 안정성으로 가장 많이 적용되고 있다2). | |
기존 TiO2 박막 형성법의 문제점은? | TiO2 박막을 형성하기 위해서는 sol-gel3), 열 산화(thermal oxidation)4), 양극산화 (anodic oxidation)5), 마그네트론 스퍼터링(magnetron sputtering)6), 캐소딕 진공 아크 증착 (cathodic vacuum arc deposition)7), 플라즈마 이온 주입(plasma immersion ion implantation)8), 이온빔 보조 증착(ion beam-enhanceddeposition)9) 고전력 펄스 마그네트론 스퍼터링(high power impulse magnetron sputtering)10)이 사용된다. 기존의 TiO2 형성법은 순수한 TiO2막을 얻기 힘들고 생성된 TiO2에 결정결함이 많아 촉매활성 및 생체적합성을 저하시키는 문제점이 있다. 반면 마그네트론 스퍼터링 공정은 진공에서 수행되며 타겟소재와 가스의 반응으로 균일한 고순도, 고밀도의 TiO2-x 박막을 얻을 수 있다는 점에서 장점이 있으며 환경친화적으로 제작 시 인체에 무해한 환경 조건을 갖는 스퍼터링법의 연구가 진행되고 있다11). |
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