$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

[국내논문] 분무장치 형상 변경을 통한 초음파 열분해 증착 시스템의 증착 성능 개선
Improvement of Deposition Performance of Ultrasonic Spray Pyrolysis Deposition System through Atomizer Shape Modification 원문보기

한국생산제조시스템학회지 = Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers, v.24 no.4, 2015년, pp.469 - 474  

김규언 (Mechanical System and Design Engineering, Seoul National University of Science and Technology) ,  이재후 (Mechanical System and Design Engineering, Seoul National University of Science and Technology) ,  전재건 (Mechanical System and Design Engineering, Seoul National University of Science and Technology) ,  박성환 (Solarceramic Co,. Ltd., Korea Institute of Ceramic Engineering and Engineering) ,  이치범 (Mechanical System and Design Engineering, Seoul National University of Science and Technology)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

In ultrasonic spray pyrolysis deposition, a precursor solution is evaporated by an ultrasonic atomizer, then gas-carried into a furnace where the solute is separated from the water vapor. After condensation, polymerization, and nucleation, the solute oxide forms a thin film. To improve the depositio...

주제어

#Spray pyrolysis deposition   #Ultrasonic atomization   #Atomization efficiency   #Computational fluid dynamics   #3D Printer  

AI 본문요약
AI-Helper 아이콘 AI-Helper

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 본 연구의 목적은 초음파 분무 장치의 수조 형상 변경을 통하여 열 분해 증착 장비의 단위 시간당 증착 두께를 증가시키는 것이다. 주입구와 토출구의 위치가 다양한 3가지 형상의 수조를 설계하여 3D 프린터로 제작하였으며, 유동해석과 실험을 통하여 분무율(시간당 기화되어 체임버로 이송되는 양)을 비교하였다.

가설 설정

  • Fig. 3(c)의 사다리꼴형은 윗면의 모양이 평평하며 토출구와 유입구가 수직으로부터 45°로 빗면에 배치하였고, 배치된 높이가 같기 때문에 높이에 영향이 없다고 가정하고 진행 하였다. 빗면에 위치한 토출구와 유입구가 이루는 각도에 따른 영향을 확인하기 위한 모델이다.
  • Fig 3(b)의 원뿔형과 다른 점은 토출구가 중앙에 위치하지 않았으며, 사다리꼴 윗면에 수증기가 몰리는 부분이 생겨 어떤 영이 미치는지를 검증하고자 하였다. 그리고 원뿔형의 실험에서 보이듯이 높이에 대해서 미치는 영향이 미세하므로 영향이 없다고 가정하고 진행하였다. Fig.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?

질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
가장 보편적으로 사용되고 있는 투명전극은 무엇인가? 플렉서블 디스플레이, 터치센서, LED 등 최근의 광 및 전자소자는 투명하면서 유연성을 갖는 전극을 필요로 하며, 이러한 전극은 기판위에 투명한 박막을 형성하여 높은 전도도와 가시광 영역에서 우수한 투과도를 구현할 수 있어야 한다[1]. 현재 가장 보편적으로 사용되고 있는 투명전극으로는 평판 디스플레이의 화소 전극으로 많이 사용되는 인듐 주석 산화물(ITO: indium tin oxide) 박막이 있고, 최근에는 불소함유산화주석(FTO: fluorine doped tin oxide), 은나노와이어 (silver nanowire), 탄소나노튜브(carbon nanotube) 등이 많이 연구되고 있다[2].
투명 전극막 소재를 표면에 증착시키는 대표적인 기술에는 어떤 것들이 있는가? 투명 전극막 소재를 표면에 증착시키는 대표적인 기술은 크게 물리적 증착법(PVD: physical vapor deposition)과 화학적 기상 증착법(CVD: chemical vapor deposition), 열분해 증착법(SPD: spray pyrolysis deposition)이 있다[3]. 물리적 증착법은 높은 에너지를 갖는 미립자들에 의한 충돌로 타겟(target)의 표면으로부터 원자들이 튕겨져 나와 기판에 증착되나, 높은 열을 가하여 생성된 금속기체들을 기판에 증착시키는 원리를 이용한다.
물리적 증착법의 단점은 무엇인가? 물리적 증착법은 높은 에너지를 갖는 미립자들에 의한 충돌로 타겟(target)의 표면으로부터 원자들이 튕겨져 나와 기판에 증착되나, 높은 열을 가하여 생성된 금속기체들을 기판에 증착시키는 원리를 이용한다. 높은 에너지를 요구하는 방법이므로 박막의 불균일과 손상이 발생할 수도 있고, 박막이 전자, 자외선, 이온 등에 노출되어 가열되므로 성막조건이 민감하다는 단점이 있다. 화학적 기상 증착법이란 기체의 원료로부터 화학반응을 거쳐 고체재료를 합성하는 화학적 방법이다.
질의응답 정보가 도움이 되었나요?

참고문헌 (12)

  1. Chung, M. H., Kim, S., Yoo, D., Kim, J. H., 2014, Materials and Characteristics of Emerging Transparent Electrodes, Appl. Chem. Eng., 25:3 242-248. 

  2. Song, C. K., Kim. C. Y., Huh, S. H., Riu, D. H., 2007, Electrical and Optical Properties of FTO Transparent Conduction Oxide Film by Spray Pyrolysis and Its XPS Analysis Based on F/Sn Ratio, Kor. J. Mater, Res., 17:7 376-381. 

    원문보기 상세보기 crossref

  3. Jeong, J. I., Yang, J. H., 2011, Trend and Prospect of Thin Film Processing Technology, Journal of the Korean Magnetics Society, 21:5 185-192. 

    원문보기 상세보기 crossref

  4. Kim, S. H., Kim, J. H., Ahn, J. Y., Kim, J. M., 2014, Synthesis and Patternign of $TiO_2$ Nanoparticles using Electrospray Systems, Spring Conference of The Korean Society of Manufacturing Technology Engineers, 213-213. 

  5. Dhonge, B. P., Mathews, T., Sundari, S. T., Thinaharan, C., Kamruddin, M., Dash, S., Tyagi, A. K., 2011, Spray Pyrolytic Deposition of Transparent Aluminum Oxide (Al2O3) films, Applied Surface Science, 258:3 1091-1096. 

    상세보기 crossref

  6. Roh, H. S., 2003, Control of Particle Morphology in Ultrasonic Spray Pyrolysis and Its Application to the Preparation of Phosphor Materials, A Thesis for a Doctorate, Korea Advanced Institute of Science and Technology, Republic of Korea 

  7. Okuya, M., Prokudina, N. A., Mushika, K., Kaneko, S., 1999, TiO2 Thin Films Synthesized by the Spray Pyrolysis Deposition (SPD) Technique, Journal of the European Ceramic Society, 19:6-7 903-906. 

    상세보기 crossref

  8. Kim, S. G., Yoon C. H., 1998, Preparation of Transparent and Conducting Tin Oxide Films by the Ultrasonic Spray Pyrolysis, J. of Korean Ind. & Eng. Chemistry, 9:2 214-219. 

  9. Kim, K. E., Kim, Y. H., Lee. C., 2014, Development of Control System for Ultrasonic Spray Pyrolysis Deposition, Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers, 22:3 385-391. 

  10. Kim, T. H., 1995, The Deposition of SnO2 Films by Spray Pyrolysis, Solar Energy, 15:2 91-108. 

  11. Joo, B. J., Hong, S. K., Kim, J. G., Lee, J. B. Lee, H. G., Hong, G. W., 2010, Deposition of YBCO Thin Film by Aerosol Assisted Spray Pyrolysis Method using Nitrate Precursors, Progress in Superconductivity, 12:1 68-73. 

  12. Kim, B. C., Oh, J. H., Lim, G. J., 2010, Study on the Characteristics of Ultrasonic Humidifier, Korean Institute Of Electrical And Electronic Material Engineers, 23:5 34-47. 

    원문보기 상세보기 crossref

저자의 다른 논문 :

관련 콘텐츠

이 논문과 함께 이용한 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로