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NTIS 바로가기전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.28 no.10, 2015년, pp.652 - 657
김민이 (충남대학교 에너지과학기술대학원 에너지과학기술학과) , 조영준 (충남대학교 에너지과학기술대학원 에너지과학기술학과) , 장효식 (충남대학교 에너지과학기술대학원 에너지과학기술학과)
We have investigated the properties of Al-doped ZnO (AZO) thin films as functions of atomic layer deposition (ALD) oxidants. AZO transparent conducting oxides (TCOs) layer was deposited by ALD with adding trimethylaluminum (TMA) and diethylzinc (DEZn). AZO films were deposited at low temperature wit...
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고분해능 X-선 회절분석기 (HRXRD)를 이용하여 다양한 반응기체의 비율로 증착한 AZO 박막의 결정구조를 분석하였다.
핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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투명 전도성 산화물이란? | 투명 전도성 산화물 (transparent conducting oxides, TCOs)은 높은 전기 전도도와 광투과율을 가지는 전극재료로서 LED소자, 태양전지, 자외선 레이저등 다양한 분야에서 투명전극 적용을 위한 연구가 활발히 진행되고 있다. ZnO는 이 투명 전도성 산화물의 하나로, 3. | |
마그네트론 스퍼터링법의 단점은? | AZO 박막 증착의 방법은 화학기상증착법 (chemical vapor deposition, CVD), 마그네트론 스퍼터링법 (magnetron sputtering), 졸겔법 (sol-gel process), 펄스레이저 증착법 (pulsed laser deposition, PLD), 원자층 증착법 (atomic layer deposition, ALD) 등이 있다 [10-14]. 마그네트론 스퍼터링법은 일반적으로 AZO 박막 증착에 많이 쓰이고 있지만, 후속 열처리 공정이 필요하다는 단점이 있다. 반면, 원자층 증착법은 원자층 단위로 박막을 형성하는 방법으로, 저온에서 증착이 가능하다는 장점을 가지고 있다. | |
AZO 박막의 장점은? | 순수한 ZnO는 투명 전도성 산화물로 쓰기에 비교적 낮은 전기 전도도를 갖기 때문에 ZnO에 전자공여체(electron donor) 역할을 하는 Ⅲ족 원소 Al, Ga, In과 Ti 등의 원소를 첨가하는 연구가 진행되고 있다 [4-9]. Al-doped ZnO (AZO)는 도핑된 Al3+ 의 영향으로 높은 캐리어 농도를 보이며 전기 전도도가 우수하다는 장점을 가지고 있다. 또한 높은 광투과율과 유연성을 바탕으로 플렉서블한 기판에의 적용도 가능하다. AZO는 저온 공정이 가능하며, 박막 증착에 있어서 안정적인 특성을 가지고 있어 산업적으로 공정 기반이 확보되어 있다. AZO 박막 증착의 방법은 화학기상증착법 (chemical vapor deposition, CVD), 마그네트론 스퍼터링법 (magnetron sputtering), 졸겔법 (sol-gel process), 펄스레이저 증착법 (pulsed laser deposition, PLD), 원자층 증착법 (atomic layer deposition, ALD) 등이 있다 [10-14]. |
J. S. Lim, K. S. Jeong, H. S. Shin, H. J. Yun, S. D. Yang, Y. M. Kim, H. D. Lee, and G. W. Lee, J. Korean Inst. Electr. Electron. Mater. Eng., 24, 491 (2011).
S. K. Kim, C. S. Hwang, S. H. Ko Park, and S. J. Yun, Thin Solid Films, 478, 103 (2005). [DOI: http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2004.10.015]
B. K. Yu, J. J. Han, and O. S. Song, J. Met. Mater., 48, 1109 (2010).
D. J. Lee, H. M. Kim, J. Y. Kwon, H. J. Choi, S. H. Kim, and K. B. Kim, Adv. Funct. Mater., 21, 448 (2011). [DOI: http://dx.doi.org/10.1002/adfm.201001342]
Y. L. Lee, T. H. Huang, C. L. Ho, and M. C. Wu, ECS J. Solid State Science and Technology, 2, 182 (2013). [DOI: http://dx.doi.org/10.1149/2.043309jss]
D. J. Lee, K. J. Kim, S. H. Kim, J. Y. Kwon, J. Xu, and K. B. Kim, J. Mater. Chem. C, 1, 4761 (2013). [DOI: http://dx.doi.org/10.1039/c3tc30469h]
Y. J. Choi and H. H. Park, J. Mater. Chem. C, 2, 98 (2014). [DOI: http://dx.doi.org/10.1039/C3TC31478B]
J. C. Lee, N. G. Subramaniam. J. W. Lee, J. C. Lee, and T. W. Kang, Phys. Status Solidi A, 210, 2638 (2013). [DOI: http://dx.doi.org/10.1002/pssa.201330042]
Z. Wan, W. S. Kwack, W. J. Lee, S. I. Jang, H. R. Kim, J. W. Kim, K. W. Jung, W. J. Min, K. S. Yu, S. H. Park, E. Y. Yun, J. H. Kim, and S. H. Kwon, Materials Research Bulletin, 57, 23 (2014). [DOI: http://dx.doi.org/10.1016/j.materresbull.2014.04.070]
M. N. Islam, T. B. Ghosh, K. L. Chopra, and H. N. Acharya, Thin Solid Films, 280, 20 (1996). [DOI: http://dx.doi.org/10.1016/0040-6090(95)08239-5]
M. Chen, X. Wang, Y. H. Yu, Z. L. Pei, X. D. Bai, C. Sun, R. F. Huang, and L. S. Wen, Applied Surface Science, 158, 134 (2000). [DOI: http://dx.doi.org/10.1016/S0169-4332(99)00601-7]
Y. Y. Chen, J. C. Hsu, C. Y. Lee, and P. W. Wang, J Mater Sci., 48, 1225 (2013). [DOI: http://dx.doi.org/10.1007/s10853-012-6863-7]
H. W. Park, K. B. Chung, J. S. Park, S. Ji, K. Song, H. Lim, and M. H. Jang, Ceramics International, 41, 1641 (2015). [DOI: http://dx.doi.org/10.1016/j.ceramint.2014.09.102]
H. J. Jung. W. C. Shin, and S. G. Yoon, J. Korean Inst. Electr. Electron. Mater. Eng., 22, 137 (2009).
S. J. Kim, K. Choi, and S. Y. Choi, J. Photonic Science and Technology, 2, 29 (2012).
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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